二次配安全管理指导手册

安全管理经验集萃

中国电子系统工程第四建设有限公司

The Fourth Construction CO.LTD Of China Electronics System Engineering

2023

安全人的自我修养

二次配安全管理指导手册

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上医治未病、中医治欲病、下医治己病。做好安全工作的核心规律之一是预防为主、防患于未然，是治未病和治欲病，因此安全人要做上医,至少要做中医。上医和中医成才周期长，可项目现场的“病”不等人,安全人没有那么长的成长周期,安全人需要站在巨人的肩膀上快速成长,需要快速掌握各类型工厂成熟的安全经验应用在现场,安全人必须当好救死扶伤的上医和中医。

为此安全监察部组织公司各个行业安全经验丰富的人员贡献智慧，系统的、有针对性总结了安全经验集萃。如果你看到后说这些我都知道,那恭喜你,你是一位经验丰富的安全人；如果你看到后说,这里面有我之前没有想到的,那恭喜你规避了安全管理的盲点;如果你看到后说这里面的大部分内容我不了解,那恭喜你雪中得炭, 你要好好学、认真习、强力推,它一定会打通你的任督二脉,使你安全功力大增,让你充满自信、举重若轻的进行项目安全管理，它会使得你所在的项目平安无恙，它会让你的工作功德无量。

本手册为《安全人的自我修养》-各行业安全管理经验集萃系列之一。在这里我们要感谢这些“良药”的提供者，他们不但制造并且改进良药，他们是上医，能够把运用良药的经验无偿分享；他们是师者，传道授业；师者如浆，助力乘风破浪；师者如灯，照亮前行之路。

本手册的师者名单：吴启帆、王宁、沈洪、谢宏、于文龙、亢荣博、张金成、杨天浩、盛旗。

前言

Contents

目录

二次配安全管理

基础篇

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Contents

目录

二次配施工阶段有别于主系统施工，如果把主系统施工形容为大刀阔斧的改天换地，那二次配就是精妙细琢的绣花雕玉。另外，从风险角度而言，二次配施工阶段除了面临主系统阶段常见的安全风险之外，因为甲方的各类生产设备陆续就位，各类为设备提供动力的介质也均已入注，一旦管理不当极易造成设备损坏、生产宕机、有害介质泄露等问题，进而引发较大的经济损失或者生产安全事故，所以从管理上来说，需要更为精细的管理手段和机制对二次配施工的整改过程进行管控。

除了以上几点，二次配施工阶段还有另外一个特殊性，即二次配施工阶段主要的管理权限已经移交到业主，更多的管理要求也受制于业主，但是不同的业主因其公司部门设置、权责分配、管理严格程度不同，每个二次配项目在实际执行过程中又面临的管理环境和管理要求不尽相同。

在这种情况下，为了让相关人员在二次配施工管理中，一方面能总体了解认识到可能会涉及的管理要求，另一方面能在复杂的管理要求中梳理出轻重缓急内容，公司安全监察部组织从事过不同行业，如电子、面板、医药、半导体、锂电池行业等，服务过不同业主，如长存、长鑫、京东方、燕东、华虹等的安全人员联合编制了二次配安全管理指导手册。

本手册旨在通过对二次配施工作业过程中的日常用语、通用管理程序、常见管理要求、风险高的作业和系统等维度的解读，以及具体措施的梳理，让参与二次配施工的安全管理人员能掌握基本的二次配安全管理知识以及通用的安全管理要求。

另外，本手册主要对二次配施工过程中的管理要求及措

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施解读，公司相关管理文件对其他维度有明确要求的，参照相关要求实施，不在本文赘述。

二次配工程又称“HOOK UP工程”，是指在半导体、太阳能、光纤、制药、电子等行业中，以生产机台为服务对象，从厂务各主系统所预留的配电柜、阀门、阀门箱等开始施工，通过电缆、管道连接至生产机台，把厂务系统的动力源按照工艺要求的参数，持续不断的输送至使用点（如下图）的安装工程。

二次配施工安装工程一般分为三类：

一类是正常装机工程：是指在主系统施工完成，设备到场后开展的从主系统(Take off)到设备使用端(POU)各系统的装配工作。

二类是为了增产扩能，在现有运行厂房内安装设备同样也是从主系统（Take off)到设备（POU）使用端之间管线、管路的装配工作。

三类是对现有设备进行拆除或者移位、涉及化学品、特气、排气、废液等管路系统的解离拆除。

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甲方管理资料清单：《承揽商行为规范承诺书》、《运营区域承包商安全卫生环保管理规范》、《EHS厂商认证手册》、《POPI（信息安全）厂商认证手册》、《无尘室厂商认知手册》等。

资料收集原则：鉴于各行业业主都有保护商业机密的需求，资料的收集应以中标以后业主外发版合同资料为准，对资料进行收集，同时禁止将资料泄密给与合同无关的第三方。

资料收集途径：业主HOOK UP部门对二次配的承揽商执行归口管理，主要负责二次配承揽商的施工安全管理，例如人员入场培训资料收集提交、施工方案&专业施工SOP（标准作业程序）&PTP（预先工作计划）的审核，例如：在进行拆机、危险化学品、特气管路解离作业前HOOK UP部门主导组织承揽商、ERC（应急管理）部门、EHS部门共同对高风险作业进行JSA（作业危险性分析）分析并制定紧急应对措施。资料收集应找主要对口部门：HOOK UP部门。

特殊情况：建设阶段，个别业主的安环、安防、厂务管理分散，存在沟通不及时情况，可能造成未能及时获取新出的规定、细则造成的违规情况，所以日常管理中需单独找各个部门索取。

例如，北京长鑫集电：厂商手册需向HOOK UP部门索要，但是安防要求及ESH具体管控项及罚则需要再次向安防及ESH单独索要；北京中芯京城则是各种规定需通过主办（HOOK UP部门工程师）索要。

根据以上获取的资料编制公司安全策划（策划需符合公

司标准化要求及业主各方规定），根据安全策划编制该厂区的安全管理方案，并提交业主审核、审批。

根据得到的资料信息，编制安全管理协议（例如，结合甲方和公司对工人年龄、体检要求；机具标准要求；材料进出场流程；物料暂存申请流程及暂存标准；人员入场行为规范要求等等）。

根据厂区要求编制入场须知。

以对于分包商安全员配置的管理要求为例，需将此类要求列入协议内容：

1．班组安全员持安全员C证上岗，证件为各省住房和城乡建设厅颁发的，某某协会不在认可范围内；

2．承包商安全员配备数量要求：每50名工人至少配1名专职安全员，不足50人按照50计算，如业主有明确要求的参照业主的要求从严实施；

3．要求专职安全员现场执行能力强，且会总结现场安全问题并制定有效的措施，能使用办公常用软件，PPT撰写能力强等；

4．二次配安全员入场前需经过项目部安全管理人员面试，班组负责人提交人员筛选清单，采用视频+实操（写问题分析报告等），综合评判人员对现场的符合性，面试合格方可到场，承包商入场前7天完成，入场后签订《承包商安全员责任书》；

5．建议：入场的班组安全员要有大型二次配项目现场管理经验，班组安全经理有同行业2年执行经验，保证提供信息真实性、有效性。

分包澄清会时，将编制的安全管理协议及入场须知向分包给予澄清。

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签署合同前，将编制好的安全管理协议添加在合同内（需要跟采购、商务协商，目前合同签订有部分未按照调整的新版协议添加）。

分包入场后，将入场须知及安全管理方案以纸质版形式发给包商，要求分包签署领取记录，并按照要求执行。

项目部应根据上述整理的要求将其制度化和程序化，便于项目在日常管理中有章可循，有据可依。

业主门禁、保密制度培训；

不可进入洁净室违禁物品的培训；厂商洁净服的使用规范；厂商无纸化办公的培训；施工申请管理流程培训。

施工申请管理流程培训。

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施工围离的管制办法；

钢瓶安全管理办法；

物料搬运的安全作业规定；

物料堆放的安全管理规定；

工具防坠的安全管理规定；

高级地板开孔的作业安全管理规定；

氩焊作业管理规定；

暂存区的日常安全管理规定；

对讲机使用安全管理规定。

紧急联络电话；

紧急疏散程序；

紧急集合点；

接触化学品的应急处理（如PH试纸酸碱数值培训、化学品伤害急救药品的介绍、六氟灵、敌腐灵介绍、冲身洗眼器的使用介绍）；

所有人员进厂后，三天内需完全掌握厂区及厂房内的逃生动线、消防设施、应急柜、冲身洗眼器等位置；

班组通过日常的安全培训（理论+实操）来提升人员的应急意识，当施工现场发生异常，可以快速做出判断，及时进行现场疏散；

班组管理人员应熟悉项目的各项应急预案，按照既定的流程进行现场应急处置及向上汇报；

班组应督促组内人员积极参加项目部安全活动，提升全员应急能力。

培训教育基本要求：

1）本教育制度执行有项目安全部组织执行；

2）教育培训人为安全工程师、专业工程师；

3) 必要时邀请业主工程师进行专业课程培训。

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通用要求：所有会议均要求会议签到、保存会议纪要。

二次配项目的施工特点：运营厂区和作业场地受限、施工材料搬运、安装过程容易对现有系统的运行产生干扰，造成设备宕机，产生经济损失或者其他有害事故，所以通常业主方会要求建立监工旁站制度。

对班组的施工过程进行安全监督；

对班组施工人员的不安全施工行为及时制止、纠正；

对班组作业区域的文明施工警示围离进行检查确认；

对施工区域可能被施工人员误触、误碰的危险源，及时提醒、并按要求进行防护。

现场工作内容确认，人数清点，确定人员姓名；

检查确认所有业主要求文件在现场并正确填写完成，如作业许可 （高空作业许可票/高架地板开孔/气体侦测隔离/管路断开）；

检查确认施工单在现场并正确填写完成，风险削减措施必须详细至：作业的风险、佩戴哪种防护用品、LOTO（上锁挂牌）制度的检查、劳保安全防护用品（PPE）检查确认，基于基本PPE要求及特殊作业情况；

检查作业安全技术交底，施工人员签字确认（不得代签）；

检查施工人员安全帽帽贴，需认证工具通过项目部检查认证，带入物品无违禁品；

应对监工制定培训计划且每周要组织一次技能培训，提升监工素质；

项目部应建立监工管理台账：监工的培训、考核成绩建档；

安全主管每周对现场的监工工作绩效进行考核，考核标准班组施工无缺失、班组安全隐患能及时发现并上报、一周内班组没有被管理层稽核到违章行为；

应就监工的培训、考试成绩和现场稽核情况对监工进行继续考核评优；

每月组织优秀监工表彰奖励活动；

1．以施工点为单位设定合格的安全监工，不定期通过培训提升其管理能力；

2．监工上岗前必须经过双层面试（班组安全+项目部安全工程师），面试合格再进行专项安全培训及考试，考核合格，发放帽贴及监工袖标，并签订《监工责任书》，实习期若出现不履职情况，进行降职处理（做小工或者劝退）；表现优秀的监工，建议班组内部进行嘉奖，提高人员工作积极性；

3．监工上岗前一周执行“以老带新”制度，跟随其他班组优秀监工学习一周再回到自己班组上岗；

4．项目部不定期针对监工进行规范培训及现场巡查抽问，不合格人员重新进行脱岗规范学习及内容抄写，考核通过再次上岗；

5．监工的日常工作主要是针对施工现场进行施工前的风险识别，并告知班组安全员，一同制定现场应对措施，完成对施工人员的交底及施工前检查；

6．现场进行成品保护措施落地监督，比如设备开关的防护、侦测带的防护、现场围篱规范等；

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7．现场进行全程旁站监护，根据项目部的安全管理要求，督促现场工人按照规范及流程作业，若现场出现违规行为、突发事件及施工困难等，应及时叫停施工作业，并通知班组安全员及项目部处理；

8．监工在施工期间不得私自离开现场，若因特殊情况需离开的，提前通知班组安全员进行顶岗，另外监工不得从事其他作业，比如拿材料、对气或者焊机操作等。

二次配施工使用的安全防护用品，与一般劳动防护用品稍有区别，主要涉及如下部分：

1、安全帽

必须穿戴项目部统一发放的安全帽，所有人员进入现场需正确穿戴安全帽。白色安全帽：管理人员；红色安全帽：安全人员；蓝色安全帽：特殊工种工人；黄色安全帽：普通工人。

2、瓜皮帽

一般在狭小空间作业时使用，比如高架地板下方、气柜等，更换安全帽需在施工区域围篱以外进行更换，保证自己处于安全的环境。

3、反光背心

必须穿戴项目部统一发放的反光背心，红黄相间为安全人员，蓝黄相间为管理人员，黄色为工人。

4、护目镜

人员在切割、拆管、打孔作业等进行佩戴，保护眼睛不被异物冲击。

5、面罩

进行管路、物件切割及带电作业（使用防电弧光面罩）时需全程佩戴，比如角磨机使用、断路器安装等。

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6、焊帽

人员进行氩弧焊或电焊均需佩戴，包括物件点焊。

7、全面式及半面式呼吸面罩

人员在接触危废物质时进行佩戴，比如拆机作业，根据现场物质配备对应的滤毒盒，开封后3个月有效，包装开封第一天写上当天日期。

8、SCBA

从事危险管路断开作业时，需搭配C防或A防使用，保证人员能呼吸到新鲜空气。

9、C防

在进行化学管路改管、特气管路断开、风管解离等需穿戴；一般配合全面式、半面式呼吸面罩及SCBA使用，C防帽檐需完全罩住全面式面罩透明位置，再使用防化胶带固定，预防施工过程中松脱，使用完后进行除污晾晒处理。

10、A防

易挥发化学品针对神经组织有损伤的需进行穿戴，比如TMAH液体泄露，配合SCBA使用，注意SCBA使用时间（30分钟）、气密性及A防的气密性，使用完后需针对表面除污处理。

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11、防酸碱手套

主要为丁腈手套，人员在接触危险废弃物或者拆除管路时使用，有液体的必须按照要求戴双层（薄款），手套需套在无尘服上，再使用危化胶带进行缠绕，避免操作中液体从袖口进入。

12、防酸碱靴及鞋套

人员在进行化学管或废液管拆除时需进行穿戴，预防人员脚步受伤，C防需套在鞋套或靴子上方，避免液体从裤腿渗漏。

13、安全带

二次配项目建议使用双钩速差器五点式安全带进行登高作业。

14、绝缘服

插接箱进行带电插拔时进行穿戴。

15、绝缘鞋

人员带电作业时进行穿戴。

16、绝缘手套

人员带电作业时进行穿戴（材质根据业主要求）。

17、劳保鞋及钢头套

人员在无尘室外侧搬运重物，比如设备基座、真空管、电缆等穿劳保鞋，在无尘室内搬运重物时需穿无尘防砸鞋。

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18、劳保用品相关要求：

1)所有劳保用品入场需承包单位提供对应的检验合格报告，经项目部验收，方可带入现场使用；

2)所有的劳保用品每日进行点检，主要检查是否损坏、破损、过期及脏污等，及时进行更换及清理；

3)沾染化学品的劳保用品需在业主Clean Box（清洁箱）内进行清洗，然后使用气枪进行吹干；

4)劳保用品需进行专柜专放，不得与其他物品进行混放，现场有详细的台账清单；

无法清洗或者已经损坏的按照业主的报废流程进行申请报废，并张贴对应的报废标识，送至指定的报废仓库。

1．现场施工过程中，安全员及监工必须全程在现场，安全员针对自己施工点进行循环检查，主要针对施工过程中存在的安全隐患进行处理，违规行为督促整改，与班组工人同进同出，不得擅自提前离开施工区域；

2．涉及危险施工作业的，应及时报备项目部专业工程师、安全工程师及业主，申请现场旁站监护，比如：拆机作业、狭小空间作业、大型设备基座搬运、电缆接线（带电作业）插接箱、断路器安装、纯水冲洗take off点（管路接驳点）阀门控制、Pumping line（高真空）管路断开及o-ring（密封圈）更换等，具体情况按照项目部要求执行；

3．旋转切割工具使用者必须经过项目部进行操作规程培训，配合项目部针对个人熟练掌握的工具建立台账，培训合格的人员方可现场操作使用，禁止人员私自操作，避免发生机械伤害；

4．特殊及高风险施工作业安排持证人员（特殊工及认证）作业，比如配电箱内作业必须由持证电工完成，其他人员禁止在电箱内作业；

5．所有涉及专业施工工艺步骤操作的必须严格按照施工SOP 流程进行作业，作业前进行全员交底培训，作业过程中抽检人员操作合规性；

6．若施工现场可使用执法记录仪，参考要求如下：每个施工点位配备一台执法记录仪，监工进行管理，开始施工后记录仪对准施工点位进行拍摄记录；现场执法记录仪交由项目部统一管理，统一充电存放，需选购自带内存的执法记录仪，定期组织监工人员进行执法记录仪使用教学。

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1．承包商应参加暂存区位置现场会堪，统一向业主申请，走业主审批流程，张贴正式暂存单及管理规范要求清单后再存放物料，具体样式根据业主要求执行；

2．物料摆放符合“下大上小”原则，小的物料分类入收纳盒，统一放置在货架上；

暂存区内禁止存放化学品、易燃易爆品等危险物质（比如酒精、胶水），化学品放在业主指定位置，比如防爆柜；

3．施工垃圾当天施工结束后清理出厂，指定位置堆放，禁止私自放在暂存区内，危废垃圾当时产生当天清理出厂，不在暂存区内存放；

4．暂存区内物料摆放不得遮挡消防、配电、VMB（阀门箱）等其他设施，影响紧急情况下使用及处理；

5．暂存区内不使用货架堆放物品时，物品堆放高度不超过1.5m；

6．暂存区内使用货架堆放物品时，必须支承稳妥，货架不得有变形、扭曲，货架螺丝紧固、支脚无损坏、锈蚀。

1．二次配现场一般只允许使用弹簧刀（只能露刀尖用），不得壁纸美工刀，剪刀刀尖为钝口，使用刀具时注意佩戴防割手套；

2．GAS（气体）管路裁剪均需要使用闭口割刀，其他管路安装可以使用开口刀具，拆除作业时为闭口割刀；

3．所有刀具固定位置统一存放，各班组做好标识，领用及归还在登记表单进行登记，有专人确认追踪当天归还情况；

4．禁止施工现场违规将刀片包裹进行使用，相关刀具必须进行贴标备案，当天使用当天归还，不得私藏刀具。

1．涉及到的班组需将LOTO锁进行专柜专放，不允许与其他物品混放；

2．每月完成LOTO的点检工作，确认现场数量是否与实际数量相符，完成点检工作；

现场挂牌上锁使用后需要在记录表上进行登记，记录设备、Take off点、上锁人等信息，以备现场检查；

3．挂牌上锁人员需要经过项目、业主及第三方认证，认证通过方可进行此项操作；

4．挂牌上锁操作需要对应专业工程师进行现场旁站确认，具体系统要求如下:

1．涉及高风险项作业的施工要有JSA风险分析，JSA风险分析由项目部专业工程师发起安全工程师、包商负责人、对口专业业主和业主ESH人员参加。JSA风险分析完成后对全员进行交底，严格按要求进行作业；

2．承包商安全管理人员每月提前完成下月施工风险识别，按照业主及项目部要求完成相关资料提交，并打印放置在施工现场，以备他人进行核对；

3．项目相关风险源除总包定期宣讲及公示外，承包商管理人员需每天针对当日施工涉及到的风险进行说明，宣导项目制定的相关控制措施，并完成现场检查落实情况；

4．施工点作业前，承包商安全员需针对安全监工所识别的现场环境风险分析结果进行核实签字，比如高处作业、动火作业、带电作业、拆机作业及狭小空间作业等，根据项目部或业主提供的表单完成点检工作，项目部安全针对现场执行情况进行核实，形成3级检查机制；涉及到狭小空间作业的需通知项目部安全及业主到现场确认，承包商安全员进

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行全程旁站监护施工；

    5．风险性高、施工困难或控制措施无法执行情况，需直接向项目部安全、专业工程师及业主反馈，待现场风险解除，方可恢复施工。

 1.PTP含义：PRE TASK PLANNING WORK SHEET，预先工作计划表（事前控制理论应用）

 2.PTP作用：在作业前对该作业进行全面预分析、同时对可能存在的各种危险因素进行充分分析和识别，以确保作业过程有更好的安全措施和紧急应变手段。

 3.PTP主要内容：包含作业单位信息、作业区域、业主主办、施工时间、施工内容描述，是否首次作业、主办签核、还是需要EHS MOC（变化管控）、作业过程安全事项进行确认并制定预防措施、对潜在危险因素进行确认并在施工方案和表格内编制控制措施、施工是否需要相关许可（高处作业、受限空间、起重吊装、管路断离、带电作业、生命系统安全隔离、掀开高架地板等）、PTP负责人签字确认、个人防护用品确认、应急设备和逃生出口位置（明确你的位置）、详细的工作步骤、伴随隐患以及消除隐患的措施、PTP申请人签字、主办签字、以及PTP审核结果等信息。

4.PTP流程：

编制说明：

PTP前由工程师、会同班组负责人、HOOK UP主办工程师、ERC&EHS（有必要情况下邀请）进行作业区域现场踏勘，对作业内容、作业风险进行注意识别，并讨论控制措施、以及确定作业过程种需要的各种防护装备；由班组负责人根据实际情况填写PTP、工程师审核然后交由业主HOOK UP主管工程师确认是否需要申请WOPAS（作业许可证），如需要即由业主HOOK UP主管工程师申请，如不需要时，凭PTP、SOP就可开展相关作业。

 1. ITP指影响到计划中的生产，造成产品正常生产循环停止，例如生产中断，产品报废或者返工的施工活动。

2. ITP原因分析：违反操作规程或者触碰阀门（不小心碰到易碎的管道和阀门、故意或者误操作阀门）、违反操作或触摸电气开关设备（误操作电源按钮、误碰或者误操作EMO）、违反操作或触摸电气开关设备）、触摸易碎的管道和电线（机台开关线、信号线）等。

3.ITP管控要点

（1）作业人员应：参与ITP和其他安全培训、工作前根据JSA确认施工区域的风险、根据识别出的风险，制定相应的安全防护措施、遵守施工程序和程序、新员工在老员工的指导下工作、凡不符合施工计划或安全要求的地方必须停止施工、及时报告问题，并等到问题解决后再继续工作；

（2）作业人员不应：工作前未经培训或清除现场风险、可自由开启和关闭阀门和电动按钮、您可以随意敲击或踩在管道上、不遵循建设过程(SWI)或项目要求、在工作中走捷径、糟糕的工作态度和糟糕的思维、新员工单独在现场工作、未按要求执行相关安全防护；

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（3）管理人员应：参与ITP和其他安全培训、在施工前与安全管理人员一起仔细检查现场，确定整个工作的风险，并撰写JSA、按照要求，施工队进行安全技术交底、定期去现场检查，发现问题并及时采取措施纠正、及时制止和纠正不安全行为、定期对项目进行风险评估并制定改进措施、对工作高度负责；

（4）管理人员不应：工作前没有检查现场，不了解现场的风险、具体施工没有技术交底、现场没有定期检查方案的执行情况、没有对施工功法等提出改进措施、对工作敷衍和消极的态度。

1．基座搬运前，搬运动线高架地板需用钢板进行防护加强，间接处需用无尘胶带黏贴；

2．3.5吨以下的钢筋混凝土基座，高架地板用5t钢板防护，使用油压车搬运；3.5吨至5.5吨的钢筋混凝土基座，高架地板用5t双层钢板防护，使用油压车配两台坦克轮辅助进行搬运，或根据现场情况铺设单层钢板及调整坦克轮的数量；5.5吨至7吨的钢筋混凝土基座，高架地板用5t钢板防护，使用油压车配四台坦克轮辅助进行搬运；7吨以上的钢筋混凝土基座，高架地板用5t双层钢板防护，使用油压车配四台坦克轮辅助进行搬运，或者找专业搬运公司使用气垫车进行搬运；

3．搬运基座时，需专人引导，避免误碰行人或设备，搬运人员佩戴防静电手套及钢头鞋；

高架地板下方孔洞用不锈钢盆全面防护，四周位置使用PVC膜做防尘防护，专人监护现场人员安全和成品防护工作；

4．为避免人员伤害以及可能对现场周围机台设备的影响

响，作业前，勘察现场环境，如有成品管路或机台线路干涉，需提前于业主及项目部专业工程师沟通，请相关专业人员挪移位置；

5．基坑旁边管路、线路必要时需用围篱隔离防护，如有已损坏的成品需及时报备项目部工程师或安全工程师及业主。

6．吊装前须自检吊装工具是否完好无损，先进行试吊，查看龙门吊架变形受力情况及各个吊具外观（主要看是否变形、开裂等），若出现问题立即将基座放下来，更换吊具，确保无安全隐患后，方可继续作业；

7．龙门架吊装使用要求：

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现场侦测带防护

1．施工区域附近有侦测带铺设的地方，使用双层PVC膜进行铺设固定，围篱区域外60厘米内的均需要防护；

2．暂存区或加工区附近通道的侦测带使用双层PVC膜或者亚克力板进行防护，使用胶带进行四周固定；

3．施工区域的侦测带若翘起严重，有报警或者断带的风险，需第一时间反馈给安全员，由安全通知主办联系相关人员到现场维护；

4．现场侦测带禁止任何人随意踩踏，或者材料等其他重物压在上面，工具使用系挂手绳避免掉落砸伤；

5．小推车或者搬运材料路过侦测带必须进行防护，不得强行通过；

6．施工现场的零散物品或者碎屑要及时清理，避免磨损断带或者短路报警；

7．各班组自备维修工具，发生断带报警第一时间通知主办并及进行维修；

开关、阀门及设备防护

1．现场设备上涉及到的EMO（紧急关机）/EMS（紧急停止）及小开关使用透明防护罩（分磁吸及无磁吸，根据业主要求使用）进行防护，闸道式开关、PCW及Bulk GAS(大宗气体系统) 等盘面张贴警示挂牌，压式风阀使用斜插块进行固定，并包裹胶带（此项措施需业主确认卡齿状态再进行），无法防护的开关需上报项目部安全管理人员，承包商安排专人现场看管，禁止任何人员靠近；

2．人员高处作业及高架地板下方作业时，施工人员提前规划移动动线，提前避开上方及下方的开关位置，下方监护

护人时刻进行提醒，减少误碰风险，条件允许可进行上锁或者扎带捆绑，具体情况根据对应业主相关要求；

3．开关防护人员需经过项目部专项培训方可进行相关操作，让其了解现场开关及阀门的总类、不同防护要求及误碰的后果；

4．人员在设备附近铺设PVC或者施工现场布置时，注意与设备保持距离，不得将物品腾空放置挂到设备开关，现场遵循先开关防护，再安全围篱，最后进行其他防护原则；

5．施工人员注意与设备保持安全距离，不得倚靠或者随意踩踏设备作业，若需踩踏设备（未通电设备），必须提前通知业主确认，同意后方可踩踏，且需铺设PVC膜踩踏四周位置；

6．承包单位按照业主要求采购及制作相关防护物质；

7．现场开关、阀门等防护措施，参考下图：

现场其他设施防护

1．施工区域使用PVC膜进行满铺，保证地面及高架地板表面在施工过程中不被划伤，工具、材料不能直接放在上面；

2．暂存区靠近柱体、墙面及库板前面位置张贴PVC膜进行防护，避免拿取或堆放物料时导致划伤或损坏等；

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4．高架地板拆除作业时，不得使用蛮力进行撞击或者撬动，比如拿地板来回敲击左右高架地板使其产生缝隙，易照成表面防静电图层破损；

5．高处作业时，人字梯立起时注意与管路、阀门、监控及广播等保持安全距离，避免发生碰撞损坏、生产中断及泄露等风险；

6．现场实际情况举例

二次配风险作业安全

管理篇

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1、厂房内的生产设备往往摆放的比较紧密，二次配的安装和作业的空间非常有限，人员施工作业均需要在运行设备附近完成，易发生误碰开关、阀门等导致设备宕机，生产中断；

2、厂房内管线布置密集，空间利用率都达到最大化，现场施工空间狭小，导致施工难度较大；

3、施工时间紧张且不确定因素多，如机台位置变化，设备接口变化，施工时间改变等，都可能增加安全风险；

4、成品保护要求严格，厂房内生产设备精密且价格昂贵，尤其是光刻机等设备，因此在设备附近作业要注意做好防护；

5、对施工洁净度要求较高，所有施工都是在生产线已经运行的条件下进行，过程中如对洁净管控不到位，导致生产设备损坏或生产线停产，造成的损失将难以估量；

6、现场管理是实行多方管理，除了业主的管理人员外（ESH、厂务、厂商、行政部门等），还有管理公司，安全管理对接人员较多；

7、施工现场往往已经进入业主生产设备运行阶段，业主现场安全管理较为严格，规章制度多，且管理流程运行成熟，需要我方人员花更多的时间去适应和执行；

8、安全管理精细化要求高，对人员素养、施工过程安全管控等要求都比较严格。

通过多个项目的经验教训积累和教训，本节总结了在施工过程中，容易出现的一些管理问题以及作业要求。

作业许可是所有风险作业管理的基础，项目部应在策划阶

阶段梳理项目所涉及的需要许可的作业，并结合业主管理要求制定作业许可流程。

1)涉及高风险作业必须填写高风险作业票，由分包商专业工程师申请，经项目部专业工程师、安全工程师、项目经理审核，经业主厂务工程师批准后方可施工（具体可参照业主作业许可管理要求）；

2)涉及可能影响业主设备生产运行的作业，专业工程师必须提前编制施工方案和SOP报项目经理和业主相关负责人，经批准后方可施工；

3)由项目专业工程师并对人员进行安全技术交底；

4)项目专业工程师、安全员对危险作业进行监控，作业完成后复核；

5)分包商安全员/专业工程师每2个小时点检签字一次，带水印拍照（具体参考业主保密要求）发安全群；

6)项目部区域安全负责人每2个小时点检签字一次，核查是否存在偏差；

7)点检严禁代签，严禁涂改，弄虚作假；

8)分包安全员按照检查表内容逐条确认合格方可签字，工作结束后收回公司安全部存档（如在业主维度闭合的，我司可无需归档）；

9）项目部区域安全负责人对合规性复查，如发现弄虚作假责令停工并进行处罚。

高风险作业票申请

分包商/专业工程师/安全员作业点检

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二次配的高处作业涉及工作量大，相较于主系统阶段，其存在非常规高处作业种类多，受周边环境如管线等影响大，也是作业过程中最大的风险之一，所以日常管理中，需作为重点管理对象进行管控，本节主要针对二次配阶段高处作业涉及的特殊情况中，需要开展的安全措施进行说明。

1)使用人字梯时注意与机台保持安全距离；

2)使用合格且经过项目验收的人字梯，人字梯架体及安全连杆完好，不得私自改造，影响受力结构；

3)作业人员配置五点式安全带，5米以下作业，取消缓冲包；离开/下到人字梯或者管架上移动时要交替系挂挂钩，施工作业时保证双钩系挂，遵循高挂低用原则，一般情况高于腰间；

4)人员站在人字梯上作业时需要有人扶梯；

5)登高作业过程中需选择高度合适的人字梯进行作业，不允许踩踏至顶端一、二梯级，现场可以使用胶带或者亚克力板封住，每日巡检进行检查；

6)将可能发生高坠的机具存放至背包内，系好拉链使用绝缘钩悬挂在C型钢上；

7)材料及工具做到勤拿少取，禁止人员直接将材料、工具放在管架上；

8)高处作业上方照明不足时，人员应正确佩戴头灯；

9）移动过程中与管路阀门、母线槽、消防管及喷头保持安全距离；

10)移动脚手架搭设完成后需经安全部验收，高宽比符合3：1，如有不足需搭设辅架加固到位，经验收挂牌后使用；

11)洁净室内使用脚手架架体及脚轮缠绕洁净胶带和防撞包；

人字梯扶梯

踩踏借力情况

12)对不使用移动脚手架需及时拆除，以免影响材料和人员进出；

13)移动脚手架作业区域做好警示隔离，专人监护；

14)移动脚手架上方严禁堆放材料或工具；

15)移动脚手架上方应设置使用队伍信息及安全警示标识；

16)跳板作为登高作业平台，可搭设在两钢梁上方，固定牢固以供施工人员落脚使用；

17)跳板选购有资质并检验合格，符合洁净室使用要求的铝合金跳板；

18)搭建完成后使用绑扎带，采用十字绑扎法进行固定；

19）管路上方借力规则遵循管理要求。

移动脚手架使用情况

挂牌验收

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一般管路踩踏许可

1)高架地板打开区域设置专门的围篱，与设备围篱形成双围篱，不在设备区域可设单围篱，选购VOC Free（检测无挥发性有机物）的警示锥杆，即满足洁净室使用要求的警示锥杆（无挥发、无异味不会对洁净度产生影响），安全锥高度不低于70厘米；现场所使用的三角锥围篱杆张贴信息标识，以便现场进行区分；

2)高架地板的围篱根据现场情况及管理要求，可以设置硬质围篱；

3)一般施工现场安全围篱成矩形且为闭合状态，建议高架地板掀开作业做双层围篱，将整个开孔区围篱起来，避免他人误入踩空；

4)施工围篱杆上四周张贴警示标识，禁止非施工人员进入，安全监护人做好提醒；

5)施工现场围篱注意与设备保持60厘米的安全距离，无法保证时报备业主及项目部；

6)现场设施阻挡消防设施及通道，提前与业主相关单位报备；

7)施工材料及PVC膜铺设放置在围篱内，不得超出区域；

8)细小工具及零件放置在不锈钢盆或者无尘包内，不得放置在洞口边或者高架地板下方，避免发生高处坠物；

9)人员进入下方区域前，提前确认相关动线，禁止误碰开关阀门，全程佩戴瓜皮帽及头灯；

10)下方孔洞使用不锈钢脸盆或者其他硬质防护，执行“N+9（N指孔数，9指盆数，即一孔九盆）”原则，若有管线穿出或者无法使用不锈钢盆防护的，现场使用PVC膜围堵；

11)人员在下方作业时，使用的工具安装手绳全程系挂在手腕上；

12)开孔位置下方区域设置安全围篱，安排专人进行现场监护，提醒过往人员禁止入内；

13)下方空间狭小时，第一时间通知业主及项目部确认施工方案，不得贸然强行作业；

14)特殊施工区域（比如光刻机附近）需要业主、系统工程师及安全员现场旁站监护，发现异常及时制止及协调；

15）施工结束后，将高架地板恢复，将三角锥及围篱杆收回，做到工完场清。

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特殊危险区域作业

管理人员全程旁站

高架地板掀开作业       现场执行双围篱

华夫筒洞口覆盖

作业人员施工作业 全程系挂手绳

高架地板硬防护样品

高架地板掀开作业现场硬围篱示意

二次配动火作业一般指B类动火作业，即不见明火的高温高热作业，如氩弧焊、热熔焊、自动焊、烤箱和热风枪等，与主系统阶段涉及的电焊、气割等有所区别，本节主要对二次配阶段的动火作业要求进行说明。

1)动火作业票据齐全，施工作业人员能现场对应；

2)焊工持证上岗，且必须通过项目部专项培训及考核，专业工程师已完成特殊工种安全技术交底；

3)现场防火措施到位，至少配备2个的手持式CO2灭火器，且距离动火点在2M以内，便于发生紧急情况时使用；

4)施工现场四周无易燃物，下方铺设防火等级为不低于B1级别的防火PVC膜或者满足洁净要求的灭火毯；

5)现场设置专职监火人，随时关注现场情况；

6)现场气瓶放置符合规范且有双链条固定，每天使用前进行安全点检，施工时脚刹踩下；

7)焊机有专门设置接地线，并现场连接；

8)人员氩弧焊接作业时，需按照要求佩戴防护面罩及焊接手套，包含管路点焊作业；

9)其他如熔化焊作业时人员需全程佩戴防烫手套，不得私自摘下；

10)角磨机使用必须在洁净棚内，现场配备全面式面罩，使用前针对砂盘进行检查；

11）动火结束后，确认无消防安全隐患方可离开现场。

动火作业现场管理

动火作业现场管理

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玻璃纤维灭火毯（洁净室用）

玻璃纤维灭火毯（洁净室用）

灭火毯（防火毯）现场使用

灭火毯（防火毯）现场使用

一般情况下二次配施工阶段，主系统所布设的临电系统将会拆除，过程中使用的临时用电电源，比较难以满足三级配电三级防护的管理要求，通常是取自业主的正式电源，一旦使用不当容易引发触电事故、局部或者大面积跳闸停电等事故，所以需要根据现场实际环境编制现场用电管理方案，本节主要对二次配阶段的临时用电及涉及的带电作业进行说明。

1)由电气工程师根据现场情况，编制临时用电施工组织设计或者现场施工用电管理方案，涉及洁净室外加工区用电的应编制专项临时用电方案；

2)增设分配电箱的情况下，需设置PE线并连接至接地端子；

3)用电设备禁止直接在插座等电源点取电，必须经过开关箱；

4)推荐分包选用III类手持电动工具，并需要配合设置专用的充电区域；

5)按照一机一闸一漏标准，220V移动电箱可装两个插座，380V必须符合一机一闸一箱一漏的标准；

6)所有电子元器件必须经过国家3C（中国强制性产品认证）认证；

7)电箱外壳推荐使用工程PC材质，具有电绝缘性、延伸性、耐化学腐蚀性，且具有自熄、阻燃等优点；

8)管线附属层搭设线路，需使用绝缘挂钩高挂，超过2M以上，插电位置进行围篱，粘贴警示挂牌；

9)设备层（有高架地板）用电建议使用移动电源（提前与业主确认），若现场业主的插座允许接电，尽量从高架地板下方或通过华夫孔穿到附属层接电，不得接入业主正在使用的插座，避免连接终端跳闸，影响控制及生产；

10)二次配施工现场允许使用开关箱供电，需单独连接漏保插座，再插在地插及壁插上使用；

11）无尘室内插座电流一般为10A，配置的漏保插座不得大于10A，连接最大功率工具不得大于2200W（提前与业主确认最大用电功率），根据现场情况及需求配备；

移动电源

壁插的连接方式

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带电作业：

1)带电作业人员必须持低压电工证上岗，专业工程师进行专项带电作业培训及交底；

2)现场涉及带电作业时，电气专业工程师及项目安全工程师必须在现场旁站监护；

3)插接箱及开关安装时，按照制定的流程逐项完成确认，施工作业前完成各项安全检查，比如电阻量测，安装前开关打到OFF，挂牌上锁锁定，避免操作误碰；

4)人员操作前佩戴对应的劳保用品，包含绝缘手套、绝缘服装、绝缘鞋、全面式面罩等，带电作业工具专门配备，必须绝缘且手绳不得使用带钢丝绳类；

5)人员带电作业期间必须保证双脚踩在绝缘垫上，高处作业时可以选用跳板包裹绝缘垫使用；

6)开关安装及线路校线时，按照要求针对I-line盘中其他开关进行检查，上下相邻的开关接线处使用绝缘胶带mark（标记）封堵，避免误接触通电线路导致短路打火；

7)送电、校线等作业需进行编号核对，核对无误再执行；

8)带电作业必须提前一天向项目部申请施工作业单，签核完成后方可生效；

9）带电作业保证双人作业，一人操作，另一人监护，不得同时作业，现场配备灭火器及绝缘拉钩。

带电情况检测

上锁挂牌

带电作业劳保用品正确穿戴

送电前通过各项检查

1)系统停送作业人员必须经专业工程师专项培训及安全技术交底后施工；

2)现场涉及系统停送作业时，专业工程师及项目安全工程师必须在现场旁站监护；

3)系统停送作业时，按照制定的流程逐项完成确认，施工作业前完成各项安全检查；

4)系统停送作业人员操作前佩戴对应的劳保用品，包含防护面罩、防护手套、吸酸棉、洗眼液、PH试纸等齐全；

5)任何成品阀门、开关必须经业主同意后方可操作，现场人员学习并签字确认，严禁任何人员私自开启现场VMB柜、阀门及开关；

6)施工人员在作业时禁止踩踏、碰撞管道，安全带只能系挂在型钢及吊杆处，禁止将安全带栓挂在任何管道、阀门处；

检查并验收合格

标签已张贴

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7）加强现场巡检管理，发现问题及时告知业主现场负责人解决排除。

泄漏侦测器已运行

劳保用品佩戴齐全

1)天花作业人员有专业工程师和安全工程师进行专项培训及安全技术交底，安全帽上张贴对应识别标识；

2)天花上作业人员全程系挂安全带，按照要求进行倒钩，一块天花板站立一人；

3)天花作业前在所作业区域安全检查（比如紧固盲板夹等），现场拉设生命线；

4)人员在打开天花板时，必须整块全部打开，放置在在其他未拆开板上，禁止现场半开放置，易滑落；

5)人员移动过程中只踩踏在标准盲板上（非标板、开孔板、FFU高效过滤器及灯箱等不得踩踏），必须在非标板或者孔板上作业的需要龙骨上搭设跳板；

6)人员在天花开口处吊运材料时，双挂钩均挂在可靠点上；

7)人员在不施工时尽量走在马道上，避免高处坠落；

8)容易发生物体碰撞及划伤的地方进行防撞防割处理，比如包裹保温棉；

9)人员施工完后及时对垃圾进行清理，垃圾打包带出无尘室，下到地面前，必须将天花板恢复好，不得预留孔洞；

10）人员在开口处吊运材料时，双挂钩均挂在可靠点上，两侧使用C型钢做硬性防护。

天花作业现场情况

作业人员安全交底

除了以上描述的常见高风险作业外，还有一些其他作业，如控制不到位也容易引发生产安全事故，如开洞、狭小空间、岁修作业等。

开洞作业指HOOK UP施工中，将主系统的各种动力源（涉及电力系统（Power）、排气系统（Exhaust）、废水系统（DRAIN）、纯水（UPW）、工艺冷却水（PCW）、大宗气（Buck Gas）、特种气体（Specialtty Gas）等）安全优质地衔接到机台时，管线走向会途经吊顶板、高架地板、楼层板等，部分途经线路已预留，部分需要在施工过程中自行开洞，开洞及后期的管理需要按照高风险作业进行管控，特别是楼层板开洞以及吊顶盲板开洞需重点关注。

1)易掉落机具材料造成物体打击事件；

2)孔洞对作业人员造成潜在高坠危险；

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3)盲板开洞对盲板整体受力质量造成影响；

4)漏水事件极易通过孔洞汇流至机台或下方楼层吊顶；

5)对洁净要求严格且已生产的区域，大量的孔洞，易对产品质量造成影响；

6)楼层板开洞施工产尘防护不到位，造成车间洁净不达标；

7)楼层板开洞，水泥块对下层成品设施造成打击危害，对洁净室环境造成污染。

1)严格执行谁开孔、谁防护原则；

2)吊顶孔洞达0.3m²，必须对盲板采取加固措施；

3)盲板、高架地板开孔严禁使用角磨机，应采用曲线锯、手枪钻作为主要开孔工具，开孔过程的铁销，残渣用料斗接住；作业完后要对周边环境机台进行检查，清扫；有条件可将盲板或高架地板置换进行室外加工；

4)盲板（T-grid龙骨盲板）、高架地板开孔时建议提前准备好替换材料，将要开洞的板材进行更换，保障在开洞时原区域无孔洞留存；

5)形成预留孔洞后应及时将相关管材进行安装，并填补孔洞，无法及时安装应采用不锈钢板进行覆盖防护（洞口短边尺寸大于30CM的应设置平网及立面防护），设置标识，防护应具备防移位功能；

6)根据施工情况在现场设置应急pvc膜，合理布置各个区域，突发漏水第一时间对机台进行覆盖保护；

7)吊顶作业同高处作业要求进行管理，配置工具包；

8)地板开洞，采用专业水钻进行开孔，吸尘器全程配合使用；

9)使用水钻开孔深度达总深度的1/4，应停止开孔，将孔

孔洞内3/4水泥块敲掉清理后再继续开孔作业，下方配置人员全程接残留残渣；

    10）地板孔开完后必须安装套管，套管高度高出地面20MM，使用结构胶填充空隙，避免水通过孔洞汇流至下层吊顶。

因二次配施工阶段的特殊性，作业过程中会涉及到在一些狭小的区域进行管线的安装，可能会影响周边的开关等，如误触碰会影响业主设备运转，本节主要对此类作业过程中的情况进行说明。

1)针对各式阀门、开关及带压管路等误碰的影响进行全员宣讲（包括事故案例的培训），让所有人员有一个新的认识，应具有畏惧心理，若现场存在此类作业需按照项目部要求提前报备及防护；

2)作业前，分包安全员、项目部安全员、系统工程师、业主及设备相应人员多方（根据实际情况）共同现场进行环境观察，针对现场可能存在的风险进行分析，并现场逐项制定措施督促现场人员执行；

3)狭小空间作业，分包安全员需全程旁站监护，针对施工过程进行管控及风险提醒，必要时及时叫停，项目部安全员进行此点位重点巡查；

4)现场施工作业遵循“先防护，再检查，后作业”的流程，没有验收的防护现场不得强行作业；

5)在高架地板下方的对应施工区域，需将人员施工位置的高架地板尽可能打开，减少安全监管盲区；检查施工环境可使用手电筒进行探照检查，避免现场检查不到位的情况，宽阔区域安全员需下到高架地板下方进行检查；

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6)保证狭小空间作业的充足照明，至少需达到50 lx;

7)现场压式阀门遵循硬性防护原则，选择两个斜插块插在手柄处，再使用胶带进行包裹，避免人员发生误碰，在此操作前提前报备项目部安全及对应主办确认；

8)施工作业前提前针对下方阀门状态进行检查，在点检表备注可能误碰管路的阀门及状态；

9)狭小空间施工作业可以根据甲方要求，尝试推广执法记录仪使用；

10）尽量安排身材瘦小、动作灵活及经验丰富等人员从事狭小空间作业。

高架地板下方狭小空间作业

管线上方狭小空间作业

岁修作业是指为确保各系统安全和完整，充分发挥并扩大系统效益，延长工程使用寿命，厂房每年都会进行整修和养护工作，周期一般为1~3天左右，施工单位一般利用整修期间扩增系统，衔接管道，并配合厂务完成各类大修作业。因周期短，岁修项目多，任务紧，所以一般存在加班时间较长、集中风险高等情况。

1)岁修项目较多，涉及危险作业种类多，且集中（动火、高空、危险管路拆卸、有限空间等）；

2)环境复杂，部分因整修，也存在照明不足情况，施工用电需求需提前考虑到位；

1)施工单位在开工前应编制施工方案，内容应包含重点部位、作业过程注意事项，危险作业过程的监控，应急预案，紧急联系电话和专门负责人，对潜在的危险应向施工人员进行详细的技术交底；

2)生产区域施工区之间应采取临时隔离措施并设置危险警示标识，施工人员不得进入与施工无关的区域；

3)施工现场应有业主和施工方的技术人员在场，阀门的开关动作，置换操作等都应有专人在业主技术人员的指导下完成，未经许可，不得操作；切割改造工作时应提前在被切割管道处明显标识，标识管道现场需得到业主和施工方的技术人员确认。

1)在进行改建施工前应编制施工方案，方案应包含关键部位，危险过程的监管、应急预案、紧急联系电话和专门负责人，以及向工人说明潜在额危险，并进行技术交底。

2)至新设备安装管道时，管道系统应关闭相关阀门，并排尽阀后管内所有介质。

3)生产区与安装区之间应采用临时隔离措施，并设置危险警示标识。

4)改建工程施工前应对输送易燃、助燃、毒性或者腐蚀性介质的系统进行置换、中和、消毒、清洗，并应达到施工要求。

5)符合施工安全要求的管道，应采用相同材质的盲板从被关闭的阀门处隔断所有化学品的来源，同时应设置明显的隔离标识，严禁用关闭阀门代替盲板隔断。

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1)确认改造的管道系统是否存在积液、废液、废水。

2)照明缺失区域要确保照明设备一用一备、通讯设备配置齐全、侦测仪器安全有效、防护用品安全有效、施工机具等符合现场作业要求。

3)合理安排加班、杜绝疲劳作业、重点区域落实监管职责，技术人员现场指导监督。

4）应急预案与业主预案相衔接、现场作业人员具备应急能力。

二次配高危系统安全

管理篇

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化学品的分类及危害性：化学品种类繁多，依据本身危险性划分为三类，分别是酸、碱、有机溶剂。

是指一种物质在溶剂中能向其它物质提供氢离子的能力。25℃下，当pH<7时，溶液呈酸性。酸性物质一般具有两种化学特性：

1）、腐蚀性:H2SO4、HCl、HNO3、HF、H3OP4

2）、毒性:HF、HNO3

对金属和混凝土等建筑材料都有一定的腐蚀作用；

与金属接触发生放热反应并放出氢气，可能导致容器压力升高和火灾；

溶于水或与不同酸的混合时，放出大量的热，浓度越高，放热越多，与碱接触发生剧烈反应并放热；

接触人体后对组织、器官产生腐蚀和毒害作用，氢氟酸对人体组织具有特殊的破坏作用。

是指一种物质在溶剂中能向其它物质提供未共用电子对的

的能力，常温时，其pH>7，则溶液呈碱性，碱性物质一般般具有腐蚀性。

比如：NH4OH、KOH

对铝、锌、锡等金属有强腐蚀作用，但对不锈钢的腐蚀作用很小；

溶于水并放出热量，碱浓度越高，放热越多；

与酸接触发生中和反应并发出大量的热；

接触人体将导致皮肤组织深度烧伤、溃疡。

能溶解一些不溶于水的（如油脂、蜡、树脂、橡胶、染料等）的有机化合物，其特点是在常温常压下呈液态，具有较大的挥发性，在溶解过程中，溶质与溶剂的性质均无改变。根据半导体厂房工艺特点主要有两类。

易燃:IPA、NMP、EBR、EKC

腐蚀性:HMDS

大多为可燃易燃液体，在空气中易形成爆炸性混合物；

易挥发，温度越高浓度越高，挥发性越大，可能导致容器压力上升；

有较强的渗透性和溶解性；

本身可能有毒，燃烧产物也可能有毒；

长期吸入蒸气可能引起慢性中毒，接触液体或蒸气引起皮炎；短时间暴露在高浓度有机溶剂中有急性中毒危险。

1)供应单元的设备、管路应设置于箱柜内，箱柜顶部宜装设高效空气过滤器，并应与单元门有自动联动功能，还应设排气连接口并与相应的排气处理系统连接；

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酸碱化学品CDM

3)供应单元应设有清洗和吹扫槽车快速接头的纯水枪和氮气枪，有机溶剂化学品补充单元不应设纯水枪；

4)不同化学品应设置不用型号、不同规格的快速接头；

5)可燃溶剂化学品供应单元应设防静电接地，补充化学品时，静电接地线应与化学品桶或槽车连接；

6)供应单元箱柜门应设安全联锁装置，当非正常打开时，应及时报警；

7)当采用泵输送时，宜采用二组并联设计，当采用氮气输送时，两个压力桶应交替使用；

8)供应单元的桶槽应设计氮气密封；

9)供应单元的出口应设有自动和手动阀，自动阀的信号应连接监控系统，并应根据工艺设备的需求而开关，同时应设有联动的紧急按钮装置；

10）供应单元应设置紧急停止按钮和显示系统状态的三色指示灯，紧急按钮启动时，应发出声光报警信号。供应单元的桶槽应设置液位探测计和高低液位报警装置，同时宜设置可目视的液位计。

2)供应单元应设有确认化学品种类等信息的条形码读码机，单元柜体应设有危险性标识；

有机溶剂化学品CDM

以下为涉及化学品作业的各类设备、设施图样及简介：

隔膜泵

触摸屏紧急按钮

氮气/CDA吹扫、补气开关

手动阀、气动阀

PLC电控

液位侦测仪

泄漏侦测器

废液处理压力泵

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管道压力表

三色指示灯

二氧化碳灭火装置

触摸屏、紧急按钮

泄漏侦测器

排气管气动阀

拨码盘

氮气、CDA、排风管道压力表

手动阀、气动阀、隔膜泵、过滤器

高效过滤器

二氧化碳灭火器

安全警示标识

VMB柜

VMB构造图

工艺内管材料-PFA管道

工艺外管材料-Clear PVC管道

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说明：酸碱类化学品的主供应管道应采用内管PFA，外管C-PVC的双套管，隔膜阀应采用PFA材质，非腐蚀性溶剂化学品的主供应管道应采用SUS316LEP管，腐蚀性溶剂化学品的主供应管路应采用内管PFA，外管SUS304的双套管，隔膜阀应采用SUS316L。

SUS316LEP管

管道安装

可燃气体探测器

有机溶剂泄漏侦测器

说明：化学品使用的供应设备箱/柜，桶槽和阀门箱，化学品的双层管线，化学品储罐的防火堤等是化学品容易泄露及易积聚处，因此，在这些位置应设置化学品泄漏探测器，并在发生泄漏时发出声光报警；溶剂化学品使用的供应设备、应急排风口及其房间，溶剂化学品桶槽、阀门箱、溶剂化学品双层管线内，是化学品容易泄露的地方。因此，在这些位置应设置有有机化学品可燃蒸气探测器，并在泄漏时发出声光报警。对于有机溶剂类化学品输送系统，在供应柜内

内安装温度传感器、UV/IR 火焰侦测器，对控制柜内进行监控。并需要配备 CO₂ 灭火系统，一旦发生火情，需触发 CO2 灭火系统及时灭火，以免火灾扩大带来更大的人员财产损失。

消防联动装置（手报、声光）

声光报警器

说明：对化学品监控系统的报警设定值有如下要求：

①易燃易爆溶剂气体一级报警设定值应小于等于可燃性化学品爆炸浓度下限值的25%，二级报警设定值应小于等于可燃性化学品爆炸浓度下限值的50%。

②酸碱化学品一级报警设定值应小于等于空气中有害物质最高允许浓度的50%，二级报警设定值应小于等于空气中有害物质最高允许浓度值的100%。

化学品除了常规管理外，其风险主要在于送液前的各项准备工作以及送液后的监测、监控及维护工作，重点管理内容如下：

送液前人员已教育培训并交底

施工已完成，保压测试、联动测试已完成，检测报告已齐全

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测试前确认管路、接口处、阀件连接良好，材质满足要求

管路名称、流向标签已完善

CDM、VMB危害标识已完善

化学品供应前讯号测试确认无误

化学品供应后阀件挂牌已完成

设备完好，内外干净，外观无变形

管道、支吊架、电缆、线管无倾斜固定牢靠

CO₂灭火器联动测试正常

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CDM、VMB、T-BOX泄漏侦测已安装且功能测试正常

监控电脑画面与现场一致，监控柜固定牢固，垂直度符合要求

劳动防护用品及应急物资准备齐全

其他危险源分析：化学品系统管道安装完成调试后配合业主送液的整个过程中，存在严重安全风险，尤其是以下作业内容： VMB柜相关作业、管道穿层、管道测试、送液、化学

学品改管等。

危险性分析：错开已送液VMB柜，引发化学品泄漏后导致人员伤亡；

安全控制措施：1）、开启前需书面通知业主将开启VMB柜，经过业主签字同意；2）、准备工作完成后，必须在业主陪同情况下方可开启VMB柜；

危险性分析：人员在VMB柜内接管时误操作，VMB柜内管道压力泄漏导致系统报警

安全控制措施：1）、开启前需书面通知业主将开启VMB柜，经过业主签字同意；2）、准备工作完成后，必须在业主陪同情况下方可开启VMB柜再行开展作业；

危险性分析：管道衔接错误导致人员、设备损失；

安全控制措施：化学品管道衔接前必须经业主、项目部及分包三方检查，确认签字后进行；

危险性分析：测试不标准，导致管路在承受压力外漏。

安全控制措施：1）、分包进行管道测试前，向项目部进行测试申请。通知项目部并在确认符合测试条件后方可进行；2）、项目部专业工程师、安全工程师不定期对测试作业进行巡查，保证测试过程符合要求；3）、测试结束后，业主、监理单位、项目部、分包三方签署测试表，确认测试结果；4）、测试前进行安全/技术交底。

危险性分析：管道与机台节点，机台内连接处漏液；

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安全控制措施：1）、在机台送液前由业主、项目部及分包，对该机台管道施工质量、测试质量进行检查，并在确认符合送液条件下签字确认；2）、在配合业主送液时，无关人员撤离送液区域；3）、作业人员远离阀门区域，禁止代替业主进行操作；4）、作业人员应穿戴全身式防护服、防毒面具、防护手套等；

危险性分析：拆除前，勘察不仔细，给工人进行错误的交底，作业人员将正常管道拆除导致泄漏；未确认的管道内化学品管道抽除完毕，作业人员在切开管道时，管道残留的化学品泄漏造成人员伤亡。

安全控制措施：1）、由业主与项目专业工程师、安全工程师进行现场勘察并制定切实可行的施工方案；2）、对作业人员进行及时安全技术交底，拆除时业主全程陪同作业；3）、业主关闭管道阀门，并完成隔断措施；4）、业主完成管道内化学品抽除，检查合格后业主断开管道；5）、业主、项目部及分包检查作业环境，确认合格后签字确认；6）、施工人员的筛选，要求有相关系统拆除经验的人员优先，专业工程师进行专项培训及拆机安全交底，考核通过张贴对应识别帽贴；7）、针对换岗人员需要重新针对新的系统作业进行第三方培训及认证，离岗人员超过7天必须重新经过项目部安全培训及交底上岗；8）、各系统管线拆除前进行巡管作业，沿线张贴红色胶带，从设备端到上游接点，拆除前要进行确认有害物质是否经过Purge（吹扫）或Flush（冲洗）；9）、设置拆机专管安全全程督促操作人员根据流程进行作业，现场设置流程确认看板，安全、系统工程师、业主逐项确认完成项并签字，确认内容有《系统管路拆除check list》及《人员拆除安全check list》两项；10）、

10）、拆除作业前根据物质特性佩戴相应劳保用品，并现场检查穿戴规范性；11）、拆除过程严格根据检查check list逐项进行确认，发现异常或者突发情况，要及时暂停施工作业，并人员撤场；12）、拆除完成后，危废处理符合业主相关要求，当天产生当天清理。

严禁任何人员私自开启现场VMB柜、阀门及开关

严禁在非管道穿层作业时，拆除高架地板

严禁私自涂改、伪造测试报告

严禁私自违规送液

严禁私自进行改管

严禁私自代替业主关闭化学品管道阀门

特种气体，用于设备高纯度气体（或者叫电子气体）是一种生产半导体、液晶、太阳能电池等各种电子产品时使用的特殊的高纯度气体。从大的方面来说，有用于制作半导体配线的气体材料、用于蚀刻（进行半导体细微加工工程）、用于生产设备清洁工艺的气体。是集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可缺少的基础和支撑性材料，被广泛应用于薄膜、掺杂、腔室清洗、光刻、刻蚀、清洗、载气、保护气等工艺,所以特气被誉为半导体的“血液”。

特殊气体种类繁多，依据其本身危险性通常划分为五类，分别是易燃性气体、毒性气体、腐蚀性气体、惰性气体、氧化性气体等。

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（1）易燃性气体

把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH₃与B₂H₆等气体也会产生自燃。可燃易燃气体都有一定的着火燃烧爆炸范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起爆炸燃烧危险性就越高，如B₂H₆的爆炸上限为98%，爆炸下限为0.9%。属于易燃气体有：SiH₄(硅烷)、PH₃（磷化氢）、B₂H₆(乙硼烷)、H₂(氢气)、NH₃(氨气) 、DCS (二氯二氢硅) 、CIF₃(三氟化氯)等等。

（2）毒性气体

制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH₃, B₂H₆,PH₃等气体的毒性最大，它们的阈限值TLV都非常低。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。

AsH₃(砷化氢)、PH₃（磷化氢）、B₂H₆(乙硼烷)、NO(一氧化氮) C₄F₆(全氟丁二烯) 、C₅F₈ (八氟环戊烯)、NF₃(三氟化氮) 、CH₃F(氟甲烷)等都属于毒性气体。

注：TLV值被称为安全阈值，其定义是：在特定的作业空间，作业人员长期反复接触而不会对人体健康构成任何危害的空气中有毒气体最高允许浓度。

（3）腐蚀性气体

这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就1

显示出很强的腐蚀性，如HCl(氯化氢) 、HF(氟化氢)、PCl₃(氯化三氯化砷)、SiF₄(四氟化硅) 、CIF₃(三氟化氯)、WF₆(六氟化钨)等。

（4）惰性气体

隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏(含氧量低于16%)会使人窒息而造成安全事故。属于这类的气体有C₂F₆(六氟乙烷)、CF₄(四氟甲烷) 、SF6(六氟化硫)、SiF₄(四氟化硅)、 CHF₃(氟甲烷)等。

（5）氧化性气体

这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有CIF₃(三氟化氯) 、Cl₂ (氯气) 、NF₃（三氟化氮）等。

为了对特气进行管控，首先需要了解在二次配施工中涉及特气的一些相关知识，如供气系统、安全防护装置等，才能在日常工作中重点管控。

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（1）简单供气系统

简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。

由于气体流量小，不经常使用，特种气体气源多采用普通钢瓶（<50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。

（2）常规供气系统

常规供气系统主要应用于4-6英寸大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不

不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。

特种气体采用普通钢瓶（<50L）供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专用氮气吹扫起源等等。VMB采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。惰性气体多采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空；VMB主管气动阀，氮气吹扫；支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。气体房和抽风系统根据气体性质进行分类。

1）BSGS（大宗特气输送系统）

此系统与大宗特气气源连接，通过全自动控制为工艺设备精确高效的输送和供应特种气体。全自动大宗特气输送柜主要有3部分：内部的气盘、输送柜柜壳及柜体上方的可编程控制器。气盘是输送柜内部的主体结构，主要由面板、气动阀、调压阀、压力传感器及真空发生器等构成。其外壳主要

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要由冷轧钢板及安全玻璃构成，具有防爆防漏的功能。柜体上部为可编程控制箱。

其设备原理：将两瓶工艺上需使用的特种气体的Y-钢瓶（以下简称A、B气瓶）放置于气体房中，气瓶与输送柜连接，通过控制箱控制气动阀门的开启及关闭来达到送气的目的。另外将一瓶高纯氮气钢瓶（以下简称C气瓶）置放于输送柜中，用于吹扫盘面。将A气瓶的阀门打开后，点击控制箱的触摸屏通知控制箱气瓶已开，控制箱的电磁阀即会接收到信号输送压缩空气等气动气源来开启气盘的气动阀，气动阀一经开启，气瓶中的特气即会经过调压阀、过滤器等处理后被送至后段设备。

当A气瓶中的气量达到最小设定量时，磅秤或压力传感器会测量并发送信号，通知控制箱关闭电磁阀，电磁阀停止输送气动气源，则气动阀关闭，A气瓶中的气体输送停止。同时控制箱发送信号开启控制B气瓶的气体被输送至后段。如此实现气柜自动切换A/B气瓶并自动供气的核心功能。操作人员可在撤换A或B气瓶的时候开启C气瓶中的吹扫氮气对设备管路进行吹扫，保证管路的纯净度。

GC(气瓶柜)：特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备，GR(气瓶架)：特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备。

GC安全防护功能：

①火焰侦测：当气柜里面有火焰时气柜内部会有个超声波检测模块探测到一个特殊的频段，产生报警信号。

②高温传感器：双金属开关，它由两个受热膨胀率不同的金属片组成，从而控制电信号开关。工作温度是72℃，超过便产生报警信号。

③喷淋装置：当气柜内部由于火焰或其他原因导致内部温度超过72℃时启动消防水。

④毒气侦测器：采集气柜内部或环境中的气体进行分析，侦测毒气含量，超过设定值会产生报警。

⑤钢瓶接口处的安全装置：保证更换钢瓶的安全。装置内部有控制开关的电磁阀，操作者无法轻易卸下钢瓶接口，安全流程下才可打开装置。

2）气体分配设备（VMB、VMP）

VMB(阀门分配箱)：特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。

VMP(阀门分配盘)：特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。

当多台工艺设备均使用某一种特种气体时，行业内使用VMB（阀门分配箱）或者VMP（阀门分配盘）将集中供气气源通过多条支路上的阀门等装置分流到各个工艺设备供其使用特气。

VMB与VMP的工作原理相同，只是VMB多一个外壳，增加其密封性，且装有排风设施保持柜体内负压。VMP一般输送惰性气体，VMB则输送有毒有害、易燃易爆的气体。

VMB/VMP安全功能：

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①紧急停止按钮：按下紧急停止按钮后即可关断所有的气动阀；

②远程紧急停止控制：远程控制即可关断所有的气动阀；

③压力开关：当气动阀驱动压力不足时则会输出警报告知；

④过温开关：当侦测到箱体环境温度高于设定值时则会输出警报告知并且自动关闭所有阀件。

⑤火焰感知器：当感测到火灾发生时启动，则会输出警报告知并且自动关闭所有阀件。

⑥过流量开关：当管路内的流量过大导致驱动过流量开关，则会输出警报告知并且自动关闭该使用侧的阀件。

⑦压差开关：当箱体内的压差过小时，则会输出警报告知。当压差不足，气体外泄时易散出箱体，故开启箱体门前注意箱体与大气的压差是否足够。

VMB

VMP

特气供气设备在进行钢瓶交换时都要进行管道吹扫操作，如所供特气为有毒、腐蚀性及易燃易爆的气体时，则吹扫排出的气体不能直接排放，需要经过尾气处置处理符合环保标准后才能排放。有毒、腐蚀性及易燃易爆的气体在经过工

工艺设备使用后也需要做相应地处理，才能安全排放。依据废气处理的特性，在处理可分为四种处理方式：

1.水洗式（处理腐蚀性气体）

2.氧化式（处理燃烧性、毒性气体）

3.吸附式（依照吸附材种类处理对应之废气）

4.等离子燃烧式（各类型废气皆可处理）

5、加热分解/燃烧处理

尾气处理设备

尾气处理原理

GMS是对气体设备运行状态的实时监控和记录，例如输送压力如何，设备有无异常、警报等。同时GMS具有多种历史查询功能，可反馈记录时间内任一时段的压力曲线、报警记录等。

气体监控系统（GMS)在半导体中担任极重要的角色，它主要分为GDS和GIS两部分；

GDS是气体侦测器系统，当系统区域出现气体泄漏时该系统能实时提供：区域性警示灯、全厂广播、记录报表、连锁控制等功能。

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GIS是气体信息系统，主要负责气体供应设备BSGS、GC、VMB的气体供应系统，如管路压力、阀门状态、报警和故障情况等，当监控区域出现气体供应设备异常时该系统能实时提供区域设备报警提示，让现场操作人员最快时间发现问题。

气体侦测器可对室内、室外环境中的各种有毒、可燃性气体，氧气等进行连续的全面监控，可实现现场报警显示、现场气体浓度显示，并将检测信息输出给外部控制器，用于远程监视及联动控制。按照侦测方式可分为：电化学式、纸带式、红外线式。

GMS系统中的警报的设定值一般是根据工艺要求的特气输送压力来设定的，而GDS的警报值是根据该特气的TLV值（最高允许浓度值）来设定的。一般GDS系统一级警报的设定值为该特气的TLV值的一半，二级警报的设定值为该特气的TLV值。

BSGS、GC、VMB等设备的气体侦测器取样点一般在设备的排风管上；环境点采样点根据不同的侦测气体的比重设置取样高度，比重大于空气的设置在环境底部（距地面15-30cm），比空气等重的应该设置在距地面1000mm-1700mm之间，排风管取样点需要安装在排风管的阀门与机台风管三通之间，尽量控制在离阀门或者风管三通25cm以上，取样点的进气口与出气口控制在相距10cm以上。

气体监控系统硬件部分一般是由PLC（可编辑逻辑控制）、现场的各种侦测器仪表、声光报警器以及紧急切断按钮，地震仪等部分组成。

气体监控系统中主要完成以下方面的功能：

现场声光报警器及连锁停机：当系统侦测出毒气泄漏时，现场声光报警器会在现场报警，以提醒现场操作人员尽

快撤离报警区域；

    A、侦测器测到毒气泄漏浓度达到一段报警值时→现场声光报警器亮黄灯；

    B、侦测器测到毒气泄漏浓度达到二段报警值时→现场声光报警器亮红灯并蜂鸣警报；

    C、侦测器测到毒气泄漏浓度达到二段报警值时→执行连锁停机操作，关闭对应的气体供应设备。

基本结构图

气体监控系统架构

联机控制按钮

（5）特气输送管道

特气的输送管道是由具备专门气体管路焊接资质的人员才能进行焊接的，管道焊接安装完成后，需经过专业的技术人员进行5项测试，如保压、氦检、颗粒测试、水分测试、氧

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氧分测试。对于输送腐蚀性气体的管道还要进行钝化操作。

特气输送管道的材质和接头形式也有指定要求，目前特种气体多使用SUS316L EP级不锈钢管，接头形式为VCR方式。对于高毒特气需使用双套管的形式来输送，内管与外套管之间进行抽真空操作，并安装负压表实时监控其真空度。内管采用EP级不锈钢管，外套管可采用BA级不锈钢管。对于特气中的惰性气体也一般采用BA级不锈钢管。

输送管道实物

双层管示意图

特种气体管道应以不同颜色、字体等标识气体名称，主要危险特性和流向。

通用标识要求

标识标签

实际标识张贴

1.严格按照安全操作规程作业

特气系统在投入使用前，安全的设计理念已贯穿其中，并且特气系统的操作和维护都有相应的标准操作规程。特气系统日常操作如换瓶、维护等都要双人作业，通过监督以确保人员每一步操作遵照安全步骤进行。虽然如此，人的因素还是引起特气事故发生的最重要的因素。事故统计表明，几乎所有的特气责任事故都是由于操作人员没有严格按照操作规程作业。

特气运行管理人员必须取得危险化学品管理安全资质、压力容器及压力管道作业资质，另外相关人员还需要经过专业的特气设备操作维护运行及异常处理的专业培训后方可上岗作业。很多特气事故往往都是具备一定经验的熟练运行人员造成的。究其原因是运行人员度过了新手对特气的恐惧阶段，并感觉掌握了特气的专业知识，因此在特气作业过程中精神不集中，跳过安全操作规程的某些步骤，最终导致事故发生。

2.注意特气系统状态及仪表数值变化

在特气运行管理中非常重要的一个关键词是“变化”。通常情况下，特气系统在发生故障之前或者已经发生故障却无报警产生时，从系统状态或仪表数值变化的情况可以发现异常。

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运行人员每天需对特气系统进行数次点检和巡检。特气系统状态及仪表的数值是点检及巡检的重要内容，如压力、温度、重量等，还包括所有气体侦测器的检测数值。在标准的点检表中，特气仪表数值都有一个管理值。运行人员在点检过程中察看各个数值是否在管理值范围内，如超出管理值，则必须马上查找原因。作为特气运行人员需对特气系统状态变化有足够的敏感度，某些数值变化即使在管理值内，也要分析其变化的合理性。另外，系统状态及仪表值虽然在管理值范围内但一直无变化，也是一种异常表现，需检查传感器等电子元件是否已经失灵。

3.特气泄漏应急处理

特气运行现场都有针对每种特气泄漏的紧急响应程序。也需要定期进行特气泄漏的培训和演练。通常情况下，出现特气报警后按照紧急响应程序需要按以下几个主要步骤进行动作：

（1）通知负责人或协调者，紧急疏散，人员搜救，同时在确保人员安全的情况下切断气源、开启强制排风

（2）确认泄漏及特气溢出量，确定报警级别是否下降或维持

（3）事故评估及分区

（4）根据气体决定PPE及ERCV紧急反应安全容器

（5）进入该区域处理泄漏和特气溢出

（6）现场清理

不管是人员搜救或是处理泄漏任何人不得单独行动。在根据调查的泄漏信息进行分区时需注意风向和风速。泄漏区域为热区。根据泄漏特气种类和泄漏量决定暖区。设备和ERT成员在冷区。对于腐蚀性特气泄漏的情况，泄漏区域需要净化。

泄漏事故处理完毕后，还需要调查整个泄漏细节及污染程度，同时分析特气泄漏的根本原因，找出对策及防治措施。

氧气检测

有毒气体泄漏侦测

供气房间外紧急切断

气瓶柜紧急切断

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中控室一键紧急切断/远程监控系统

尾气处理装置已启用

防护用品准备到位

所有阀门已关闭，并挂签挂锁

灭火器、洗眼器、人体静电消除器已安装完成

其他危险分析：特殊气体管道安装完成调试后配合业主送气的整个过程中，存在严重安全风险，尤其是以下作业内容：VMB柜、管道穿层、管道测试、送气、特气改管等。

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VMB柜内安装管道

危险性分析：人员在VMB柜内接管时误操作，VMB柜内管道压力泄漏导致系统报警

安全控制措施：1）、开启前需书面通知业主将开启VMB柜，经过业主签字同意；2）、准备工作完成后，必须在业主陪同情况下方可开启VMB柜；

特气管道衔接

危险性分析：特气管道衔接错误导致人员、设备损失；

安全控制措施：特气管道衔接前必须经业主、项目部及分包三方检查，确认签字后进行；

特气管道测试（保压、氦气测试）

危险性分析：测试不标准，导致管路在承受压力外漏，或未侦测出焊道上是否有沙孔存在（沙孔会因为过高的压力造成泄漏）；未侦测出可能的漏点，无法确认漏率的大小。

安全控制措施：1）、分包进行管道测试前，向项目部进行测试申请。通知项目部并在确认符合测试条件后方可进行；2）、项目部专业工程师、安全工程师不定期对测试作业进行巡查，保证测试过程符合要求；3）、测试结束后，业主、监理单位、项目部、分包三方签署测试表，确认测试结果；4）、测试前进行安全/技术交底。

特气管道送气

危险性分析：管道与机台节点，机台内连接处漏气；

安全控制措施：1）、在机台送气前由业主、项目部及分包，对该机台管道施工质量、测试质量进行检查，并在确认符合送气条件下签字确认；2）、在配合业主送气时，无关人员撤离送气区域；3）、作业人员远离阀门，焊道等区域，禁止代替业主进行操作；4）、作业人员应穿戴全身式防护服。

特气改管

危险性分析：拆除前勘察不仔细，给工人进行错误的交底，作业人员将正常管道，或未抽除特气的管道拆除导致泄漏。未确认的管道内特气抽除完毕，作业人员在切开管道时，管道残留的气体造成人员伤亡。

安全控制措施：1）、由业主与项目专业工程师、安全工程师进行现场勘察并制定切实可行的施工方案；2）、对作业人员进行及时安全技术交底，拆除时业主全程陪同作业；3）、业主关闭气源，并完成隔断措施；4）、业主完成管道内特气抽除，检查合格后业主断开管道；5）、业主、项目部及分包检查作业环境，确认合格后签字确认。

严禁任何人员未经许可开启现场VMB柜、阀门及开关；

严禁在非管道穿层作业时，拆除高架地板；

严禁未经许可触碰业主工艺设备管线；

严禁未经许可违规送气；

严禁未经许可进行特气改管；

严禁未经许可代替业主关闭特气管道气源或抽除管道内特气。

1.拆改主要风险分析

（1）高处坠落风险。

（2）人员触电风险。

（3）误拆导致其他机台宕机风险。

2.主要施工工具

割刀、剪刀、螺丝刀、万用表、登高平台、PVC膜、绝缘手套、绝缘鞋、防火全面罩、防火服、护目镜。

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3.施工步骤

（1）申请施工许可，项目部专业工程师、安全工程师会同业主及施工队伍监督现场施工。

（2）相关施工区域进行围护，地面铺设PVC膜/绝缘垫进行保护。

（3）会同业主各部门至现场，查验待拆线路相关信息。机台端tie-in点：确认待拆衔接点。厂务端MCCB tie-in点：现场确认待拆衔接点与原派点记录。

（4）现场断开开关后，电力部门人员挂禁止人员操作标示牌。机台端断开开关并在机台操作面板处挂牌〖施工中，禁止操作〗以避免误操作造成伤害。进行标定锁定并使用仪表进行验电，确认无电后，可继续施作。（所使用的施工器具为全绝缘工具，必要时盘体总线活电部分铺设绝缘毯，施工人员佩戴绝缘手套）。

（5）依据张贴的标示的拆线位置进行电缆结线端子解离，于脱离后立即包覆绝缘胶带，再将电缆线抽出结线箱体。将已脱离并抽出盘体之电缆两端切除线端10cm（包含压接端子拆除），并包覆绝缘胶布及做好绝缘防护措施。

（6）cable tray（电缆桥架）至电盘之电缆全部拆除，若cable tray中除拟移除电缆外无电缆，则电缆全段移除；若电缆于cable tray中有其他电缆压住无法移除，暂时不拆除，则将拆除电缆两端做好绝缘防护及〖电缆两端已解离，未通电〗标示；若厂务端为插接箱，则在电缆拆除后，将插接箱进线孔做好封堵并在箱体上挂牌标示；

若压住的线缆必须拆除时，需提前从供电端抽出到桥架外，解离端放在地面，人员在桥架外针对电缆进行裁剪，禁止任何人在桥架内裁剪。

（7）现场cable tray、金属软管、EMT管及支撑架等全部

部拆除。

1.拆改主要风险分析

（1）高架坠落风险。

（2）漏液风险。

（3）漏液侦测报警风险。

（4）人员化学品废水灼伤风险。

（5）管道拆除作业异味气体侦测报警风险。

2.主要施工工具

割刀、剪刀、扳手、螺丝刀、A字梯、PVC膜、电箱、承漏桶、吸酸棉、防酸碱手套、全面罩、护目镜、呼吸防护具、C级防护衣及抗酸碱袋、防酸胶带。

3.施工步骤

（1）会同业主至现场，查验管路相关信息

（2）机台端tie-in点：确认待拆衔接点。厂务端take-off tie-in点：厂务部门确认待拆衔接点与原派点记录。

（3） HOOK UP段管路查验：(由机台tie in 点，查验对照至 take-off)。

（4）确认拟拆除管路厂务端 take-off之点位及阀件正确，并确认阀件为关闭之状况，将管路tie-in接点(拟脱离接点)张贴待拆除标签。

（5） 业主现场确认拟拆除管路机台端 tie-in之接点正确(如有阀件应为关闭状态)，并将管路 tie-in接点(拟脱离接点)以挂牌标示。会同相关部门再次确认待拆除管路正确。

（6）确认前述相关准备及检点作业均已完成 (含管路标示、厂务端及机台端 tie-in 端头标示、管路积液导水准备作业 )，确认可进行管路脱离及拆除作业。

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（7）管路积液导水：于管路相对低点处进行导水，导水作业时先将管路低点法兰螺丝缓慢松开，将管内积水导入盛液袋或导水带中，并确认整段管路已进行导水作业后再开始管路脱离作业。

※ 导水作业时用盛液袋于管架上盛接管内残液，需避免盛接容器倾倒或破裂造成淋溅运转中机台。

※ 导水作业人员应于管路上方，避免因残液淋溅造成工安意外。

（8）厂务端管路脱离：依共同确认并已标示之厂务端接点(或共管分歧点)脱离管路，并将厂务端 take-off 风门出口端以盲板进行盲封，HOOK UP管路端口需先包覆并确认无残液漏出。

（9）机台端管路脱离：依设备张贴的待拆除标签共同确认并已标示之机台端接点脱离管路，并由设备部门将机台端端口盲封。

（10）管路拆除时须由机台端往厂务端进行管路拆除，逐段进行管路及管支撑拆除，遇管路低点有积液须再以导水带排空后再继续进行。

（11）遇共管或其他因素导致管路无法完全拆除，需将管路端口以盲板进行盲封。

※ 管路端口应以盲板进行盲封(严禁使用塑料袋或其他物品临时盲封)。

4.拆改注意事项

（1）召开施工前会议确认方案可行。

（2）申请作业许可。

（3）施工前准备好防酸手套、防化服、防护面罩、防毒口罩、对应危害废弃物的垃圾袋、吸酸棉等相应工具。

（4）施工区域做好警示围护，施工挂牌，禁止其他人员

员进入。

（5）确认机台排气是否为停止状态及其他会签事项。

（6）排气管拆除前需确保化学品、Gas、Pumping Line、Drain系统均已拆除，并且现场状况安全。

（7）有些有化学品系统的机台，排气内部可能会残留化学品，作业前需确认主办已隔离周边气体侦测。

1.拆改主要风险分析

（1）高架坠落风险。

（2）漏液风险。

（3）漏液侦测报警风险。

（4）氩弧焊接动火作业风险。

2.主要施工工具

割刀、剪刀、活动扳手、普通扳手、氩弧焊机、手持式带据、 A字梯、电箱、美工刀、承液桶、吸酸棉、 PVC膜、手套、护目镜、垃圾袋、吸尘器。

3.施工步骤

（1）PCW/LSW管道系统拆除前应向业主部门提出申请，注明需要拆除设备的名称，停机时间等信息。会同业主部门现场确认，查验管道信息。Take off点、设备端接点与设备信息完全相符。

（2）现场确认需要拆除的设备管路系统及点位正确，并确认阀门为关闭状态，厂务挂牌。

（3）确认拆除管路机台端 tie-in接点正确(如有阀件应为关闭状态)，并将管路 tie-in接点(脱离接点)以挂牌标示。

（4）会同确认部门人员于再次确认后，于挂牌上签名。现场再次阀门确认已关闭上锁挂牌，设备接点已挂牌，管

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管路走向已确认，现场准备工作已就绪（导水袋、吸水棉、水桶、锯弓、吸尘器、电箱、安全带、PVC布、跳板、梯子、扳手、绑带、围护标识、施工标识等）。

（5）在施工前对施工区域的漏液侦测带使用PVC布进行覆盖，防止有液体滴落，触发警报。

（6）施工厂商针对参与拆除的班组进行安全技术交底，拆除过程中的注意事项、管路走向、拆除过程中的应急措施，以及拆完的管道应堆放位置。

（7）高压软管拆除，在Sub Fab盘面上进行导水，导水作业时先将盘面软管S/R快速接头缓慢脱离，快速放入水桶中，使用活动扳手将快速接头拆除，缓慢开启盘面R/S球阀，使管道内流体会缓慢流入水桶中。留有专人看护软管和盘面阀门，以免液体过多溢出水桶。管道内液体排放到业主废液收集点。

（8）管道内无流体排出后，将阀门关闭，拆除技术层盘面高压软管，使用软管将供回水连接，Sub Fab盘面软管拆除完成后将盘面封堵，防止残留液体流出。

（9）遇共管或其他因素导致管路无法完全拆除，需申请由业主进行协调借机，HOOK UP厂商需将管路端口进行盲封；管路端口应以相同材质之管帽或盲板进行封堵，并使用全新垫片(严禁使用塑料袋或其他物品临时封堵)。

（10）不锈钢管道切割前，先将Take off点处断开，HOOK UP厂商将Take off点用丝扣堵头封堵，再切割管道。管道切割使用手工锯，切割时要注意管道周围的管道，以及切割完成后下放的空间。

（11）管道切割时要有导水袋和水桶在下方，防止在切割的过程中有残留液体流出。

（12）管道拆除完成，会同相关部门进行现场查验,确认

认管道拆除完成，将Take off锁解除。

4.拆改注意事项

（1）针对此次参与拆除作业的人员进行专项的拆除培训，未经培训不得进行此项工作。

（2）人员进入厂区严格遵守业主的各项规章制度。

（3）施工前确认现场的施工环境，以及施工的机具材料等，及时准备到现场，所有工具需经过项目部验收合格后方可进入厂区使用。

（4）现场拆除完的管道要及时封堵，不得敞口。

（5）管路拆除前提交管路拆除、登高、动火作业申请，在未得到批准前不得进行任何作业。

1.拆改主要风险分析

（1）高架坠落风险。

（2）漏液风险。

（3）漏液侦测报警风险。

（4）人员化学品废液溅射灼伤风险。

（5）管道拆除时异味气体侦测报警风险。

2.主要施工工具

   无尘室专用吸尘器、割刀、剪刀、活动扳手、普通扳手、A字梯、PVC膜、电箱、美工刀、承酸桶、吸酸棉、防酸碱手套、全面罩、护目镜、呼吸防护具、防护衣及抗酸碱袋、防酸胶带。

3.施工步骤

（1）拆除作业人员必须经过专业培训和安全培训，合格后才可上岗。

（2）如Pumping line管道有加热夹套，需由业主人员对夹套先断电2小时，避免管道温度过高造成人员伤害。

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（3）会同相关人员现场确认需要拆除的管道，机台tie-in点。

（4）将机台停机并对危险能量断开并进行标定锁定，然后拆除作业人员再上锁。

（5）确认管道是否有异味和粉尘，如有异味则提前进行处理，如有粉尘则提前准备粉尘处理措施。

（6）确认管道内气体性质，根据管道内的气体准备相应的防化服（C防），如管道内无危害气体，拆除作业需穿戴安全眼镜、安全帽等常规PPE。

（7）现场需确认Pump、Scrubber已停机且Chamber出口阀件为关闭之状况。关闭顺序需为先关Chamber，再关Pump，最后关Scrubber,间隔时间需大于10min。

（8）如机台有VENT管路，必须先将机台VENT阀门关闭，Pumping line VENT阀门打开，再进行Chamber、Pump、Scrubber关闭作业。

（9）确认管道内无残气，HOOK UP厂商并在有“OK FOR DEMO”挂牌的前提下进行管道解离作业。

（10）解离前作业人员需穿戴好相应的PPE，做好围护，解离顺序应先解离机台端，再解离pump端，最后解离scrubber端。

（11）脱离管路应立即以危废垃圾袋封住管口，并用扎带扎紧，

（12）施工结束后将防化用品进行回收，集中分类处理。

（13）现场的施工垃圾及时处理，现场围护等施工物品及时撤回。

（14）已拆除管路需两端盲封处理，吸尘器内powder在无尘室外及时倒入相应危废垃圾袋，缴交至危废仓库回收。

4.拆改注意事项

（1）管道拆除前拆除人员穿戴好相应的PPE，做好围护，拆除时应先拆Chamber到Pump的管道，再拆Pump到Scrubber的管道。

（2）如有粉尘，用洁净室专用吸尘器把粉尘吸出。并在施作前与业主报备并进行火警侦测器隔离，周边若有干扰气体侦测器，一定先隔离周边受干扰的气体侦测器。

（3）已拆除的管道两端需要封堵，管道内的物质及C防等沾染化学品的物品倒入危废垃圾袋中，缴至危废厂库回收。

（4）拆除过程中若因故不能完全拆除，待拆管路应有Cap和标示“待拆管路，且两端已脱离”的挂牌和相应的联系方式。

1.拆改主要风险分析

（1）高处坠落风险。

（2）人员特殊气体喷射腐蚀风险。

（3）特气管道作业异味气体侦测报警风险。

2.主要施工工具

割刀、剪刀、开口扳手、A字梯、 PVC膜、电箱、气体侦测器、防酸碱手套、全面罩、护目镜、呼吸防护具、C级防护衣及抗酸碱袋、防腐蚀胶带。

3.施工步骤

（1）提前一天提出施工申请。

（2）施作前对施工人员安全合技术交底。

（3）确认停机时间，排水种类，确定设备冲洗时间 。

（4）材料工具准备齐全，拉至现场，做好警示围护，漏液侦测带及拆除点机台上方用PVC膜进行防护。

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（5）监督作业人员到现场签核拆除作业检查表。

（6）用气体侦测器试探是否有气体未排除干净。

（7）拆下的管路危废部分负责端口封堵并运输至危废仓库。

（8）由于运行的气体管道内含有易燃易爆及有毒气体，在拆除之前必须进行气体处理排放及进行气体置换、吹扫工作，其流程及结果必须符合国家《电子工业污染物排放标准》、《输气管道工程设计规范(GB50251-2015)》 等相关规范要求。

（9）当气体管道经过前期断开、加堵头以及管内气体处理排放、吹扫置换达到相关安全标准后，经过确认，才能进行接下来拆除准备工作。

相关部门必须至现场，查验管路相关信息流程：

①机台端tie-in点：确认待拆衔接点；

②厂务端take-off点：确认待拆衔接点与原派点记录；

③ HOOK UP段管路标示：将管路tie-in接点及take-off点(拟脱离接点)以 OK TO DEMO标签作识别与标示。确认原始标签机台编号\TAKE OFF标签是否正确。

④HOOK UP段管路double查验：对照ISO图和实际管路进行对比确认。(由机台tie in 点，查验对照至 take-off)，遇拆除管路空间限制，闭口切刀无法执行时(如穿越隔间板、 管路密集处...等)，须由各相关部门会同再次确认后才可执行管路拆除。

(10) 业主相关部门需确认已完成cycle purge及保持此管路之负压值 ≦ -12.5 psi，

负压值确认：_________ psi。

备注：对于粘滞性气体需在cycle purge完成后24h内完成管路的拆除工作。

确认拟拆除管路厂务端 tie-in之阀件正确、且供应手阀为关闭状态、且管路tie-in接点(拟脱离接点)以挂牌标示；

确认拟拆除管路机台端 tie-in之接点、且机台端供应手阀为关闭状态、tie-in接点(拟脱离接点)已挂牌标示；

（11）管路脱离：先脱离厂务端接点再脱离机台端接点，注意事项如下：

     a. 先旋松1/8圈，若有正压气体吹出，需立即旋紧接头，并关闭 VMB前门，立即通报紧急应变中心，进行原因调查后处理。

     b. 厂务端脱离过程中用手持式侦测器持续测试，如有报警，需立即旋紧接头，关闭VMB前门并停止作业，进行原因调查后再处理。

     脱离完成时间：______月______日______ 时______分

（12）管路接头脱离后，立即于 VMB端之 stick 用 CAP盲封，并将VMB上方之管路盲封，以避免危险。检查VMB阀箱内其他管路接点是否有易碎标签破裂，有无施工碰触有松脱疑虑。

（13）厂务端接点脱离确认完成后，再进行机台端管路脱离：依已标示之机台端接点脱离管路接头，脱离接点后需将机台端接头及管路接头用CAP进行盲封。

（14）每次进行切断之前，一定要识别出需要切的管线，而且对每个切割点都必须进行再次确认。下面的方法可供采纳。如果不能得到两个操作人员的一致确认，立即停下来，联系相关管理人员。

（15）从原始接头到管线的拆除点都必须做好全程追踪，确保不会切错管线。比如整条拆除管线缠绕红绳或者警示

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示带，线管拆除的具体位置的两端至少保证有一个拆除标识，气体管线拆除班组必须要非常熟悉切割作业流程。

（16）只要管线是穿过障碍物的（例如墙、地板、天花板），这个管线必须在尽可能接近障碍物的地方进行切割，但不要拔离障碍物。每个切割点都需要由第二个人进行再次确认，穿墙—人员在墙的两边确认要切的管线是正确的（例如防火墙等）。如果原来的方法不可行，则需要重新全面评估，选择正确的切管方法，要得到安全部门许可

（17） 管路两端解离前（打开VMB柜门前）施工人员个人防护器具检查及穿戴: C级防化服、防酸手套及SCBA (业主 EE确认气体性质是否为自燃性（Y/N）:如为自燃性质，则应穿消防防火服）

4.拆改注意事项

（1）召开施工前会议确认施工方案可行。

（2）申请作业许可。

（3）施工前准备好防酸手套、防化服、防护面罩、防毒口罩、对应危害废弃物的垃圾袋、吸酸棉等相应工具。

（4）施工区域做好警示围护，专人监护，禁止其他人员进入。

（5）会同业主有关部门一起确认机台供气是否为停止状态、TAKE OFF点阀门是否为关闭状态及其他会签事项。

（6）气体管路需要在气体侦测器拆除前完成拆除。

（7）公司专业工程师、安全工程师、等责任人全程监工。

（8）现场对施工人员技术交底，详述施工步骤及注意事项。

（9）安全人员检查施工人员防化用品有无齐全依次点检。

（10）把周围易侦测到的侦测器做好隔离。

（11）解离机台端管路接口，用指定CAP堵住。

1.拆改主要风险分析

（1）高处坠落风险。

（2）漏液风险。

（3）漏液侦测报警风险。

（4）人员化学品废水溅射灼伤风险。

（5）PP铁板焊暗火作业风险。

（6）UPVC管道作业异味气体侦测报警风险。

2.主要施工工具

刀、剪刀、由令扳手、普通皮带扳手、A字梯、PVC膜、电箱、PP焊机、承漏桶、吸酸棉、防酸碱手套、全面罩、护目镜、呼吸防护具、C级防护衣及抗酸碱袋、防酸胶带。

3.施工步骤

（1）Drain管道系统拆除前应由业主提出申请，相关部门到现场确认设备名称及停机时间，查验管道信息。Take off点、设备接点与设备提供的信息完全相符。

（2）现场查验管路相关信息。(由机台tie in 点，查验对照至 take-off)机台端tie-in点：确认待拆衔接点。厂务端take-off tie-in点：确认待拆衔接点与原派点记录。

（3）管路标示/拆除前，以纯水进行管路 flush，flush后对应机台端阀门应立即挂牌上锁。

（4） 管路无法进行flush，施工人员需依排水特性选择适当防护具。

无法flush：含C级或以上防酸衣、防酸手套（绿色防酸碱手套）、抗化胶带及全面罩。

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（5）可以flush：含C级防酸衣、黄色乳胶手套、防护眼镜（管路断开后确认无残留且水质pH接近中性可不穿C防）。

（6）flush 水量标准：3倍之设备槽体容积 ＋ 排水管容积 (以概估50M进行换算)。

（7）HOOK UP段管路标示：将管路tie-in接点及take-off点(拟脱离接点)2次巡管确保管路正确。在关阀前再次确认拆除管路厂务端 take-off之点位或阀件是否正确。无挂牌标示或标示错误，则不执行停水作业施工厂商准备防护用品（防酸手套、C级防酸衣、防护眼镜、导水袋、吸水棉、水桶、锯弓、吸尘器、加热板、灭火器、电箱、安全带、PVC布、跳板、梯子、扳手、绑带、围护标识、施工标识等）防酸袋。

（8）确认已完成管路冲洗，且拆除管路之排水阀已关闭(如有阀件应为关闭状态，且需挂牌上锁，待拆除点张贴OK TO DEMO标签)。对施工区域进行异味申请，以免触发警报。施工前对施工区域的漏液侦测带使用PVC布进行覆盖，防止有液体滴落，触发警报。

（9）管道拆除

①整段拆除：先拆除排水来源(机台端)接点，再拆除厂务端接点。HOOK UP指示厂商，依共同确认且已标示之机台端接点拆除管路接头，并由设备人员进行机台端接点盲封作业。

②部分拆除：确认待拆除管路已粘贴红色胶带，先切除距机台近端再切除远端，切除前必须在每个切口前后两端张贴机台及附属设备标签。管路切口的标签需与预配管路两端标签对应（预配管路需在预配完成后在两端张贴正确相同的机台标签）。

③位于无尘室3F机台端管路脱离时，为避免机台搬运时碰撞风险，管路须再切除至与高架地板齐平。

（10）PP/PE/UPVC系统Drain管使用PVC割刀切割，Take off点处断开，使用热熔板和管帽加热将Take off点封堵（管帽要求和Take off相同材质、等级），UPVC使用粘接工艺。管道切割使用PVC割刀空间狭小使用锯弓，切割时要注意管道周围的管道，切割完成以后下放的空间。

（11）不锈钢Drain管拆除，先拆除设备端接点，再拆除Take off点处的法兰，拆除完以后使用盲板封堵Take off点，法兰垫片要更换。拆除完的法兰要及时使用洁净胶带或法兰盲板封堵不得敞口。不锈钢Drain管需要切割时，采用手工锯切割，切割过程中要使用吸尘器，不得污染洁净室。

（12）管路探孔：于管路低点及存水弯等处，以电钻于管路顶部进行探孔，确认管路内积液状况，如必要时可使用导水带将管内积液吸除。管路探孔后之孔洞，须用胶带以缠绕方式进行盲封。

（13）管路临时盲封：管路拆除作业中(含当日无法完成拆管作业)，可能因为同一Sub main机台排水造成污染源逸散风险；每一管路切口均需立即用抗酸碱袋套封，再以适合尺寸之橡胶塞头进行临时盲封。

（14）拆除之管路搬运过程不可将封口袋取下，以避免管内残液漏出(减害前再拆除塞头)。

（15）厂务端管路脱离及盲封：先脱离排水来源(机台端)接点后，再逐段往厂务端进行管路拆除，最后脱离厂务端接点时，依共同确认并已标示之厂务端接点脱离管路接头，并进行厂务端接点盲封作业。如为take-off 点为阀件，共同确认盲封完成后，交接更换现场挂牌为"常关"。

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（16）拆除完的管道两端封堵，交由指定仓库处理。

（17）如遇机台共管现像，至使管路无法全部拆除，在管路最高点处进行封堵作业，不进行全段拆除，做好挂牌标示。

4.拆改注意事项

（1）召开施工前会议确认方案可行。

（2）申请施工许可。

（3）施工前准备好防酸手套、防化服、防护面罩、防毒口罩、对应危害废弃物的垃圾袋、吸酸棉等相应工具。

（4）施工区域做好围护，专人监护，禁止其他人员进入。

（5）由相关部门确认机台排水是否为停止状态、TAKE OFF点阀门是否为关闭状态及其他会签事项。

（6）现场对施工人员技术交底，详述施工步骤及注意事项。

（7）检查施工人员防化用品有无齐全依次点检。

（8）把周围易淋到机台及漏液侦测带进行覆盖保护。

（9）解离机台端管路接口，用指定垃圾袋盛装。

1.拆改主要风险分析

（1）高架坠落风险。

（2）作业中工人压伤风险。

（3）运输时基座倾倒风险。

（4）环氧修复时异味气体侦测报警风险。

2.主要施工工具

龙门架、液压车、板手、钢板、吸尘器、防坠绳、不锈钢盆、垃圾袋等

3.施工步骤

（1）移机前现场会勘：基座华夫孔内下方是否有管路、电线、成品机台等，需使用PVC薄膜覆盖进行防护。基座四周是否干涉，如成品阀盘、管道，移机确认地板上方空间是否满足于基座拆除后Move in动线及龙门吊架使用空间，需向业主沟通协助处理。

（2）施工前施工规划及准备：确认移机前现场问题是否得到处理，若未处理及时联系业主沟通处理。

（3）拆除AB胶连接： Foundation四周需盖不锈钢盆，防止坠落，拆除时注意AB胶掉落，注意拆除不要伤害Foundation表面。

（4）Foundation搬运吊装作业：吊装作业前须先龙门吊架自主检查以及检查手拉葫芦及布绳是否正常无损坏。

（5）清除AB胶残留： Foundation移出后未覆盖部分需盖不锈钢盆，防止坠落，防护不到位置需用PVC薄膜用胶带固定。

（6）环氧地面修复：需均匀涂抹表面，不得裸露出RC水泥，胶未干时使用薄膜隔开保护。

（7）恢复高架地板：膨胀螺丝需紧固到位，需用原厂支撑脚连杆连接，地板需完全复原，不能出现晃动地板螺丝全部锁紧。

（8）验收：确认现场无残留垃圾，地板恢复完整，地板有无晃动，清洁现场6S。

4.拆改注意事项

（1）现场防护措施是否齐全。

（2）施工作业前做好警示围护，设置合格监护人。

（3）拆除高架地板回风孔洞需用钢板铺设。

（4）支撑脚拆除/安装需用吸尘器跟吸 。

（5）吊装作业前需用钢板/PP板补强地板 。

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（6）龙门吊架及吊装工具吊装前自检是否完好。

（7）工具使用需佩戴防坠绳（限能够使用的）。

（8）完工后及时收回孔洞盖板/PP板。

1.拆改主要风险分析

（1）高处坠落风险。

（2）漏液风险。

（3）漏液侦测报警风险。

2.主要施工工具

由令扳手、普通皮带扳手、A字梯、PVC膜、承漏桶、吸酸棉、防酸碱手套、全面罩、护目镜、垃圾袋等。

3.施工步骤

（1）确定机台名称、需求(HDC/PID)及预定停机更改之时间。

（2）管路标示/脱离前，配合FAC进行公用流体停止供应。

（3）相关人员至现场，查验管路相关信息。机台端tie-in点：确认待拆衔接点。厂务端take-off tie-in点：确认待拆衔接点与原派点记录。

（4） 确认拟拆除管路厂务端 take-off之点位及阀件正确，并确认阀件为关闭之状况，将管路tie-in接点(拟脱离接点)以挂牌标示。会同确认部门人员再次确认后，于挂牌上签名。

（5）确认拟拆除管路机台端 tie-in之接点正确(如有阀件应为关闭状态)，并将管路 tie-in接点(拟脱离接点)以挂牌标示。会同确认部门人员。须于再次确认后，于挂牌上签名。

（6）确认前述相关准备及检点作业均已完成 (含管路标

标示、厂务端及机台端 tie-in 端头标示、管路导水准备作业 )，确认可进行管路脱离及拆除作业，并对施工区域内leak sensor进行防护，以免触发报警。

（7）机台侧操作盘面导水：于相对较空旷处(避免管内积液淋溅运转中机台)，导水作业时须缓慢将操作盘面由任处松开，以导水带将管内积水导入盛液桶中，并确认整段管路已进行导水作业后再开始管路脱离作业。

※ 导水作业严禁使用盛液桶直接于管架上盛接管内残液，以避免盛接容器倾倒造成淋溅运转中机台。

（8）机台端管路脱离：先脱离给水来源(操作盘面)接点再脱离机台端接点，依共同确认并已标示之机台端接点脱离管路接头，并以盲板将机台端接点进行盲封。

（9）管路拆除时先使用导水带将进水管内残液排除，并由机台端往厂务端依已标示之管路，进行管路拆除，遇管路低点有积液须再以导水带排除后再继续进行；回水管内残液排至厂务端后，进行管路拆除。(不可双向拆管)

（10）管路临时盲封：管路拆除作业中(含当日无法完成拆管作业)，可能因为剩余管路液体溢出风险；每一管路切口均立即以抗酸碱袋套封后，再以适合尺寸之橡胶塞头进行临时盲封。

※ 拆除之管路搬运过程不可将橡胶塞头取下，以避免管内残液漏出。

（11）管路正式盲封：管路完全拆除后(包含遇共管或其他因素导致管路无法完全拆除部分)，需将管路最后端口以管帽、法兰/由令盲板进行正式盲封(严禁使用橡胶塞头、塑料袋或其他物品临时盲封)。

※ 共管或无法完全拆除应回馈相关信息予相关人员。

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（12）厂务端管路脱离：管路拆至厂务端后，脱离给水端及回水端(厂务端)接点

，依共同确认并已标示之厂务端接点脱离管路接头，并将厂务端 take-off隔膜阀出口端及HOOK UP管路端口均先以盲板进行盲封。

（13）遇共管或其他因素导致管路无法完全拆除，需将管路端口进行盲封，并回馈相关信息予相关人员。

※ 管路端口应以管帽或盲板进行盲封(严禁使用塑料袋或其他物品临时盲封)。

（15） sub-main 进回水联通管路制作：管路拆除完成后，应将 sub-main之对应进回水点位以联通管路(材质为 PVDF HP) 衔接，并由FAC进行阀件开关挂牌。

（16）已拆除之管路需缴交至废品仓库回收。

4.拆改注意事项

（1）针对此次参与拆除作业的人员进行专项的拆除培训，资质认证合格，未经培训不得进行此项工作。

（2）施工前确认现场的施工环境，以及施工的机具材料等，及时准备到现场，所有电动工具需经过验收合格后方可进入厂区使用。

（3）现场拆除完的管道要及时封堵，不得敞口。

（4）管路拆除前提交管路拆除、登高、动火作业申请，在未得到项目部批准不得进行任何作业。

1.拆改主要风险分析

（1）高处坠落风险。

（2）人员烫伤风险。

（3）拆除时粉尘烟感报警风险。

2.主要施工工具

登高平台、PVC膜、吸尘器、防酸碱手套、护目镜、垃圾袋等。

3.施工步骤

 施作前准备

（1）明确机台名称、更改需求及停机时间，并向FAC申请停止流体供应(含特气及电力)。

（2）监控系统移除：需再次确认拟拆除机台确实已停止运转，将SCADA系统内待拆除机台之监控内容删除，并再确认图控上确实已删除无显示。

电力电缆拆除

（1）电源关闭：由设备人员先关闭温控盘之加热电源。

（2）电源关闭：应由厂务人员进行厂务端分电盘MCCB断电，并将该处挂牌标示，以避免误操作风险。

（3）厂务端分电盘至温控盘电缆拆除作业，依照施工检查表电力配线拆除作业检核表逐项执行，并于各项确认完成后，各相关部门逐项填记检核表。(该作业检核窗体需一并留存)

特气用加热带 heating trace 拆除：

（1）施作前再次确认特气管路已停止供气、pump down与cycle purge已完成、温控盘确实已断电、管路管壁已降至常温。

（2）拆除作业进行时需由机台端拆回特气阀箱(或气柜)端，不可跳拆。

※ 安全注意：加热带拆除作业时，须再度确认pump down与cycle purge已完成，厂商作业人员仍须注意避免工具碰撞且不可拉扯管路。

加热夹套拆除：

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（1）真空管用加热夹套 heating Jacket 拆除

（2）施作前再次确认机台(含pump)已停止运转，且温控盘确实已断电，管路管壁已降至常温。

（3）真空管用加热夹套 heating Jacket 拆除

（4）拆除作业进行时，需通过非破坏性拆除，逐一解开压扣或魔鬼毡进行拆除，整段管路拆除完成后再拆除另一管路。

温控盘&其它拆除

（1）除特殊需求需另外注记，加热温控盘需一并拆除。(厂务加热电源分电盘不拆除)

（2）现场供加热夹套或加热带使用之cable tray、金属软管、EMT管及支撑架…等需全部拆除。废电缆/材料等依规定缴至废品仓库，Heating jacket 可转用材料依指定位置暂放。

4.拆改注意事项

（1）针对此次参与拆除作业的人员进行专项的拆除培训，资质认证合格，未经培训不得进行此项工作。

（2）施工前确认现场的施工环境，以及施工的机具材料等，及时准备到现场，所有电动工具需经过验收合格后方可进入厂区使用。

（3）现场拆除的材料要及时处理。

（4）管路拆除前提交管路拆除、登高、动火作业申请，在未得到项目部批准不得进行任何作业。

二次配应急管理与案例警示篇

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一、二次配施工应急管理

二次配施工阶段主系统已经运行、生产正常进行、和设备相关动力、工艺（水、气、化学品）系统均在正常运行。二次配管线安装作业空间受原有设备、管路系统的影响较大。鉴于以上情况综合分析二次配施工主要安全隐患：

1） 气体泄露发生中毒或者窒息

2） 化学品泄露造成环境污染人员受伤

3） 带电作业造成人员触电

4） 设备宕机造成经济损失

5） 火灾隐患

6） 机械伤害

7） 其他伤害

鉴于二次配装机工程都是在运营生产状态下进行安装作业，业主方有应急处置部门（ERC)、应急处置流程、应急处置上报电话、厂房内有生命安全系统、应急广播系统、专业化的应急物资等。

所以项目编制的应急预案要和业主EHS、ERC部门的管理要求进行无缝衔接。

1.二次配装机工程的应急预案内容上要有厂区逃生线路图、厂房内冲身洗眼器平面布置图、应急物资平面布置图、业主方应急物资允许使用的明确说明、业主方急救室等信息。

2.二次配装机工程应急预案要结合专业特征编制专项应急预案。例如《化学品泄露应急预案》、《气体泄露应急预案》、《触电事故应急预案》《运营厂区火灾应急预案》

3.二次配装机项目应急预案编制要充分考虑业主门禁制度

度对应急救援的影响。

4.项目应急预案紧密切合现场实际情况，应急预案的救援信息要即时更新。

1.二次配装机工程项目的应急演练往往会对业主的正常生产有影响或者扰动，在运行厂区施工单位的应急演练要事先获得业主的同意和支持。

2.二次配装机工程项目的应急演练首先以桌面演练、推演为主要方式，各项应急救援预案都要有充分的桌面演练、评估。

3.二次配装机项目厂区内部的应急救援实操演练要结合业主方EHS部门、ERC部门应急演练规划开展。

1.二次配项目应急物资价格比较昂贵，应在应急准备阶段与业主建立明确的物资使用权限，现场急救使用可向业主方借用，项目部应对应急物资的使用组织专项培训和说明。

2.二次配项目应急物资样例简介

本节重点向大家简要介绍二次配阶段涉及应急物资的样例，具体配备要求，如数量、位置等需要根据二次配项目现场实际涉及的风险确定。

PH试纸

六氟灵

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吸酸棉

吸液棉条

护目镜

紧急洗眼器

酸碱废液收集桶

防酸碱垃圾袋

耐酸碱吸尘器

简易氧气瓶

葡萄糖酸钙软膏（氢氟酸灼伤急救）

抽风机

防有机溶剂手套

防爆手电筒

1.冲身洗眼器的使用方式

（1）化学品伤到眼睛时使用方法-洗眼

①打开防尘盖

②用手轻推手推阀,清洁水 从洗眼喷头自动喷出

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③双眼靠近洗眼喷头前，用大量清水冲洗15分钟

④用后须将手推阀复位并将防尘盖复位

（2）化学品溅到身上时使用方法-冲身

①用手向下拉阀门拉杆,水 从喷淋头自动喷出

②站到喷淋头下，用大量清水冲洗

③使用完后，须将拉杆复

冲身洗眼器的整体状态

2. 化学品喷溅及接触身体的通用应急处理要求

当溅出少量药品到皮肤上时，立即用清水冲洗15分钟以上。如无可见的化学烧伤或红肿的痕迹，则再以肥皂彻底冲洗，清洗时应将所有的装饰品（戒子、手炼、手表等）拿掉，以便彻底洗去残留物。一旦有可见的化学烧伤痕，即使是很小或不感觉疼痛都应立即送医。

应注意药品是否有延迟性的作用（可查物质安全数据表－MSDS（化学品安全技术规格说明书），请与药水商取得MSDS），如甲烷、溴乙烷或氢氟酸之生理效应可延迟长达48小时。如果洒到的药品具有延迟性，应告知医师以便做正确的处理。

当化学品洒漏在衣服上时，不要去擦拭它，应迅速地将遭污染的衣物脱下，并使用冲身洗眼器，千万不要因害羞而迟疑。特别小心不要让衣物接触到眼睛，套头式的衣物可以用剪开的方式脱下。冲水至少要15分钟以上。不要在皮肤上涂油膏、药水、或任何软膏。务必尽快地送医。遭污染的衣物在清洗时应与其它的衣服分开清洗。

【请注意】一般医院的医师并非每一位都具有处理化学物质伤害的能力，日常即应对实验室附近医院状况先加以了解，探查哪些医院具有处理化学物质伤害的能力，并将地址电话张贴于现场。

在送医后，应告知医护人员所涉及到化学品的名称及性质以采取适当的处理。举例来说，盐酸与氢氟酸虽然都是酸，但在治疗上却非常不同。如果携带相关物质之物质安全数据MSDS表一同送医，则为最佳处理方式。

当药品不慎溅到眼睛时，应立即以温和的饮用水（净水）冲洗至少15分钟。冲洗应使用眼睛冲洗装置，冲洗时应将眼皮拉高，同时眼睛上下左右转动以便将眼皮内彻底洗净

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净。若无此设备时，冲洗方式是先将患者侧躺下，让患眼朝下并将眼皮拉高，眼睛上下左右转动，用水由内眼角往外眼角冲以避免污染到另一眼。不可使用任何的药剂中和清洗。冲洗后应立即包扎双眼后尽快送医诊疗。

3.典型危化品风险及应急措施事例-如氢氟酸

六氟灵适用于氢氟酸灼伤的情况下，皮肤表面灼伤和眼部灼伤均适用，使用方式如下：

①从酸急救品盒子里取出六氟灵顺时针拧开盖子

②对灼伤区域进行冲洗

③眼睛灼伤直接将瓶口对着眼睛冲洗，要不停眨动眼睛

④在用大量清水冲洗15-20分钟

⑤冲洗后局部涂抹葡萄糖酸钙软膏

⑥立即送医

其他注意事项：

①当眼睛溅到氢氟酸及氟化物以外的其他化学品时应立即用敌腐灵眼杯冲洗，冲洗时要不停眨动眼睛

②接触到皮肤立即用大量清水冲洗15分钟以上

③酸性化学品冲洗后涂抹葡萄糖酸钙软膏，立即送医

④立马离开危险区

⑤不要在疼痛消失后就停止清洗

 事故经过：

施工人员在拆改盘柜内线时误碰侦测点位，造成侦测器误报警

 事故原因：

1、施工前未仔细核查风险项，未及时将风险进行规避

2、工人安全意识以及经验不足，未确认周边点位是否有状况

3、没有对接线工人做施工前交底培训，现场准备不够充分

4、没有制定完善的IO盘柜接线流程，需要完善制度以确保不会再出现类似情况

5、接线工人能力不足，无法担任IO盘内作业任务，管理人员未起到培训监管职责

 损失后果：造成误碰点位侦测器预报警

 预防措施：

1、开启盘柜内作业前，进行盘柜风险识别，确认好风险后与业主进行确认，要求不擅自打开盘柜。

2、班组管理人员加强对现场施工管理巡检，每日需对现场进行巡检并签字，每日早会时对班组工人宣读施工管理相关事项

3、制定明确IO盘作业规定，第一步由管理人员下发接线作业计划，制定接线点位，将点位图制作好并且业主认为没问题后，与现场作业人员进行交底，明确作业内容后再进行作业。

 事故经过：施工作业人员在进行热熔对接作业时产生烟尘引起极早期烟雾探测器报警。

 事故原因：厂商不了解无尘室动火的注意事项，监工没有尽到培训和监工的职责

 损失后果：

1、造成消防监控系统误报警，导致此作业区域人员恐慌（虚晃事件）；

2、造成项目部被业主处罚5万元。

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 预防措施：

1、协同主管部门做好作业前绘勘；

2、实时观测作业区域装填；

3、做好作业区域排烟工作。

事故经过：作业班组在二楼机台附近进行高架地板开孔作业，开孔后未警示和防护，业主人员不慎踏空摔倒。

事故原因：

1、施工人员违规在孔洞上覆盖一半PVC膜，造成人员无法很清楚看到孔洞的位置；

2、人员安全意识较差，开孔的位置未设置专人进行看护，人员都集中在旁边位置，未关注孔洞情况；

3、现场的管理人员未履职，其他人员经过未做好安全提醒工作，进入自己施工区域也没有劝阻；

4、围篱区域设置不合理，未预留人员通行通道；

 损失后果：业主人员不慎踏空摔倒住院治疗，业主处罚50000元。

 预防措施：

1、高架地板掀开孔洞禁止使用亚克力、PVC膜等物品进行覆盖，禁止高架地板错位扣住等其他情况发生，无法双层围篱的必须报备分管此区域的安全工程师进行重点监管；

2、孔洞边上安排专人进行看管，禁止任何人员靠近孔洞位置，不得离开孔洞区域，施工点全员有责任及义务针对进入自己施工区域的人员进行劝阻让其绕行，或者在自己区域施工的必须做到有效的安全提醒，现场安全监护人负主要责任；

3、在施工区四周安全围篱上张贴明显标识，提醒其他人员非施工人员禁止进入；

4、项目部安全每天针对开孔区域进行规范落实情况检查，不符合要求的施工点进行叫停整顿处理；

5、施工现场围篱区域必须预留人行通道，且远离洞口周边位置。

事故经过：

工作人员作业时不慎打翻氢氟酸溶液，喷溅到双腿上，造成大面积皮肤灼伤，第一时间经葡萄糖酸钙软膏处理，并送往医院急救。

事故原因：

作业人员在使用氢氟酸清洗电路板，转身时不慎打翻氢氟酸容器，喷溅在防护服未保护到的背面下肢。

损失后果：

1、造成人员损失工作日30天；

2、医疗费约100000元；

预防措施：

1、加强作业人员安全培训；

2、对酸碱溶液加强管理；

3、要求作业人员必须佩戴全方位防护用具

事件经过：

作业人员高处作业时违规踩踏PV管线。

事件原因：

1、管理人员未宣导到位

2、现场施工人员的安全防范意识差

3、施工人员责任意识差

预防措施：

1、加强对工人的洁净室6S培训工作，每日早会强调洁净

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净室作业标准；

2、增强管理人员洁净室巡检力度，定期对施工班组进行宣导教育工作；

3、责任落实到人，加强工人的责任意识，对屡教不改的工人，作抄《洁净室管理规定》10遍的处罚。

事故经过：

预留口处逸散粉尘，触发烟感报警，导致作业人员人员紧急疏散。

事件原因：

1、尾气临时走未正常走排气管路，怀疑EAC管路瞬间压力过高导致预留口临时盲封板脱落；

2、接口原为预留接口，故使用临时封堵。后因设备交期问题设备星号调整，原预留接口无需使用，未及时进行正式封堵；

预防措施：

1、施工完成设备，要求预留接口均以正式方式进行封堵；

2、Turn on 前重新确认预留口封堵情况，无误后再执行；

3、将预留口正式封堵确认项次添加到 check list 中。

后记

二次配安全管理指导手册作为“安全人自我修养”提升的一个部分，在编制过程中，王宁、沈洪、谢宏、于文龙、亢荣博、张金成、杨天浩、盛旗等同志给与了大力支持，并提供了很多的思路及素材，在几位的通力合作下才得以成册，再次对几位的付出表示感谢。

本手册受限于参编人员的专业及经验，部分管理规定源自于各自服务业主的管理要求，可能会有部分内容存在争议或者错误，欢迎各位修者积极批评指正。

此外，本手册对于二次配项目管理阶段的其他风险尚未完全覆盖，仍需要继续完善，如涉及到不同种类特殊气体、化学品的具体防控措施，仍有很多内容、管理提升需要大家去积极探索、总结，安全监察部后续仍会组织对这些内容的进一步梳理及完善，有意参与编制整理的同事可与安全监察部沟通。

安全管理经验集萃

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安全是公司的核心竞争力

主    办：中国电子系统工程第四建设有限公司

主管部门：安全监察部

主    编：吴启帆

编    校：王兴东

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