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气体质量流量计和控制器
gas control
ON
high level
研创测控技术（福州）有限公司，研究制造气体压力、流量、温度、浓度控制系统设备的专业化公司，并设有技术支持部为客户提供技术咨询、设计、工程安装及维修等服务。
产品主要应用在半导体、气体、化工、生物科技、食品等行业。厂区占地面积1100余平方米，配备最先进的高科技生产设备，并设中央实验室、检测室和无尘室。研创荣获ISO9001,荣获”五星售后服务”认证。研创拥有气体解决方案20年的市场、研发和制造经验，提供系统化整体解决方案，赢得广大客户的信赖。
公司简介
目录
——CONTENTS——
50系列气体质量流量计TC5200系列气体质量流量计50M系列气体质量流量计MS-FX40系列涡街液体流量计SVC系列高真空用电磁阀SFC系列流量比例阀组SL260系列不锈钢管路减压器SC600系列先导式减压器EP100系列流量控制器EP101系列气体流量控制器EP200系列大流量气体流量控制器FLOW-IGS表面集成系统
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50系列气体质量流量计
TC5200系列气体质量流量计
产品说明
50系列气体质量流量计是一款高性能、紧凑型、高性价
比产品。该产品采用最新一代的工业级气体流量检测芯片，
结合高速数字处理电路以及温度补偿算法，可实现最小
0.1sccm、最大800slm流量范围内的高精度气体流量检测。
同时，该设备可提供有线（RS485/4-20mA）和无线（
Wifi/4G/蓝牙）等多种通讯方式，并配备专业的用气管理软
件，方便客户进行批量安装和配置，可满足实验室用气计量、
漏气报警等需求，也可以在工业中替代浮子、转子、皮膜等
传统机械式流量计。
TC5200系列气体质量流量传感器是采用微机电系统（MEMS）流量传感芯片制作，适用于各种用途的清洁、相对干燥性小流量气体测量和过程控制，独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量，确保高灵敏度，高可靠性和高稳定性。
TC5200是基于MEMS流量传感单元和高精度数字处理电路，集成的A/D转换器和具有内部校准功能的逻辑电路共同保证了传感信号实时有效采集，获得精确的流量信号。在内部进行相应的补偿算法处理，因此无需再做任何外部校准补偿，就能确保高精度的流量输出。友好的数字化通讯方式，用户可以很方便的获得数据信息，产品应用范围十分广阔。
产品说明
产品应用
• 实验室用气计量• 电子特气• 超高纯气体• 环境监测• 流量控制
技术参数
精度 1.0%F.S.量程比 1:100
响应时间 10ms重复精度 ≤±0.2%F.S.最大耐压 2.5MPa
工作压力 2.0MPa供电电压 DC8~24V 主体材质： 不锈钢316L
订购信息
产品特点
• 精度高（2.0%F.S.精度）• 线性输出和无需温度补偿• 以最小的零漂保持长期稳定性• 固态传感核心（无表面空洞或易碎膜）， 抗堵塞和压力冲击• 模拟数字输出可选
• 快速响应时间（10ms）
•流量范围宽0~200slm
•最大工作压力：1MPa
•供电电压：DC8~24V
| 50 | 01 | C100 | D4 | TM8 |
| 系列号 | 气体 | 量程 | 通讯方式 | 进出气形式 |
| 50 | 01:氮气 06：甲烷02：空气 07：氢气03：氧气 08：氦气04：二氧化碳 05：氩气 | 10sccm:C010 1slm:L00120sccm:C020 5slm:L00550sccm:C050 10slm:L010100sccm:C100 20slm:L020200sccm:C200 50slm:L050500sccm:C500 800slm:L800 | RS485:D44~20mA:A4 |
1/4"卡套：TG4 1/4"VCR: VC46mm快插：KC66mm卡套：TM6 |
所示量程为氮气可选量程；
%F.S.指误差占满量程的百分比；
工作压力指进气口与出气口之间的差压；
本产品标定于以下条件：氮气、25 ℃、2.5bar差压 (进气口3.5barA，出气口 1barA)、水平放置；
产品应用
• 光伏设备• 真空泵• 分析仪• 持续气道正压通气设备• 麻醉分娩
• 医疗气刀
订购信息
| TC5200 | 01 | C100 | D4 | TM8 |
| 系列号 | 气体 | 量程 | 输出方式 | 进出气形式 |
| TC5200 | 01:氮气 06：甲烷02：空气 07：氢气03：氧气 08：氦气04：二氧化碳 05：氩气 | 100sccm:C100 20slm:L020500sccm:C500 50slm:L0501slm:L001 100slm:L1002slm:L002 150slm:L15010slm:L010 200slm:L200 | A:1~5VB:0.5~4.5VE:RS485F:4~20mAG:PNPH:NPN |
1/4"卡套：TG4 1/4"VCR: VC46mm快插：KC66mm卡套：TM6Rc1/4:R4 |
所示量程为氮气可选量程；
%F.S.指误差占满量程的百分比；
工作压力指进气口与出气口之间的差压；
本产品标定于以下条件：氮气、25 ℃、2.5bar差压 (进气口3.5barA，出气口 1barA)、水平放置；
50M系列气体质量流量计
MS-FX40系列涡街流量计
产品说明
50M系列气体质量流量计是一款高性能、高性价比产品。该产品采用最新一代的工业级气体流量检测芯片，结合高速数字处理电路以及温度补偿算法，可实现最小3slm、最大5000slm流量范围内的高精度气体流量检测。同时,该流量计具有可分离的显示器，具有RS485网络通讯接口及用户自定义报警功能，能更好的实现网络传输和流量监控。并配备专业的用气管理软件，方便客户进行批量安装和配置，可满足医院中心供氧计量、实验室用气计量、漏气报警等需求，也可以在工业中替代浮子、转子、皮膜等传统机械式流量计。
MS-FX40系列是一款基于冯卡门涡旋（Von Karman vortices）原理的涡街水流量传感器。在一定的条件下一定体积流量的流体绕过扰流柱时，扰流柱两侧会周期性地形成旋转方向相反、排列规格的双列线涡，形成卡门涡街。传感器通过内部芯片感应涡旋流过的频率快慢，从而测算流经管道内的液体流量。传感器具有使用寿命长，耐污染、高精度和无漂移等特点。
MS-FX40系列支持对多个流量范围进行快速精确测量，从而实现紧密的过程监控，可快速可靠地测量高度动态化的液体流动过程。传感器内部的流量通道畅通无阻，没有运动部件；传感器通信方式简单，可轻松连接至客户的处理器。非常适用于优质大规模生产，是要求苛刻且对成本敏感的OEM应用的理想选择。
产品说明
产品应用
• 医院中心供氧
• 实验室用气计量• 电子特气• 超高纯气体• 环境监测• 流量控制
技术参数
精度 ± 2.0%F.S.量程比 1:100
响应时间 10ms重复精度 ≤1%F.S.
显示单位 m³/h或L/min最大耐压 2.0MPa
工作压力 1.0MPa供电电压 DC8~24V 主体材质： 不锈钢316L
防护等级 IP40
订购信息
产品特点
• 出色的重复性，高精度• 低压损，耐污染• 涡街测量原理，无可动部件• 精度：＜±3% F.S.• 重复性：＜2%
• 流体温度：0~100℃
• 流量范围宽0~100L/min
• 最大工作压力：1MPa
• 供电电压：DC18~28V
| 50M | 01 | L300 | D4 | TG8 |
| 系列号 | 气体 | 量程 | 通讯方式 | 进出气形式 |
| 50M | 01:氮气 06：甲烷02：空气 07：氢气03：氧气 08：氦气04：二氧化碳 05：氩气 | 300slm:L300 800slm:L800 1500slm:L1500 2000slm:L2000 5000slm:L5000 | RS485:D44~20mA:A4 |
1/2"卡套：TG8 M22*1.5:M22M33*1.5:M331/2"NPT(F):FN8 |
所示量程为氮气可选量程；
%F.S.指误差占满量程的百分比；
工作压力指进气口与出气口之间的差压；
标准条件：空气（20℃，101.325kPa）
产品应用
• 光伏设备• 真空镀膜设备
• 实验室环境
• 交通运输
• 能源计量
订购信息
| MS-FX40 | 01 | L016 | R | FN12 | 0 |
| 系列号 | 介质 | 量程 | 输出方式 | 进出气形式 | 温度+显示屏 |
| MS-FX40 | 清水 | 2~16L/min:0205~40L/min:04010~100L/min:100 | R:RS485A:4~20mAV:0~10VN:NPNP:PNPG:PNP | 1/2"卡套：TG81/2"G螺纹: FG83/4"NPT螺纹：FN12Rc1":R16 |
0：无温度无显示
1：无温度带显示
2：带温度无显示 3.带温度带显示
|
SVC系列高真空电磁阀
SFC流量比例阀组
产品说明
• 使用介质：空气、真空、惰性气体、腐蚀性气体• 耐压力：5MPa
• 流体温度：5~60℃
• 环境温度：0~60℃（不得冻结）
• 阀座泄漏Pa.m³/s He:＜1.0x10-9
• 外部泄漏Pa.m³/s He：＜1.0x10-11
• 动作形式：常闭
• 阀结构：直升式提升结构
• 安装方式：自由
• 耐久性：200万次
• 接口形式：卡套、NPT、VCR可选
• 额定电压:DC24V
• 电压波动范围：±10%
• 绝缘等级：130（B)
• 流量比例阀组是由PM驱动控制器+SFC流量比例阀所组成的，通过输入信号0-10 V、4-20 mA、RS485 Modbus三种信号中，选一种输入至PM驱动器进而控制，FC流量阀中的马达来移动轴芯，达到阀体开度由小至大的变化，不管是气体或液体的控制中，流量都可以呈线性度且精准与微小的控制流量，有助于对客人的机台设备提升。流量比例阀的开发，是针对随时需要精准调控液体或气体流量变化的产业。
产品说明
产品应用
• 组件测试• 太阳能电池生产• 半导体生产• 液晶生产• 食品
• 医疗
技术参数
类型 高真空电磁阀母体材质 SUS 316LO型圈 FKM弹簧 SUS304静铁芯 0Cr18Mo2Ca动铁芯： 0Cr18Mo2Ca
订购信息
SVC-04-04-1
进气/出气形式：00:1/4”NPT(F)
04:1/4"卡套
04V:1/4"VCR(M)
1:DC24V
产品应用
• 气体混合• 分析仪器• 半导体设备• 高精度、高分辨率流量控制• 吹瓶机器
• 本体为不锈钢
• 密封件为FKM、FFKM
| 型号 | SFC-20 | SFC-120 | SFC-300 | SFC-1000 | SFC-1500 | SFC-3000 |
| 阀门类型 | 两口两位比例式针阀 | |||||
| 口径 | G1/8" | G3/8" | PT1/2" | |||
| 流体 | 惰性气体和液体 | |||||
| 压力范围 | -1~7bar | -1~6bar | -1~10bar | -1~20bar | ||
| 流量范围（空气） | 0~65L/min@6bar | 0~230L/min@6bar | 0~400L/min@6bar | 0~1200L/min@5bar | 0~2600L/min@7bar | 0~5000L/min@10bar |
| 流量范围（水） | 0~1L/min@6bar | 0~4L/min @6bar | 0~8L/min @6bar | 0~28L/min @5bar | 0~51L/min @7bar | 0~94L/min @10bar |
| 重复精度 | ±0.1%F.S. | |||||
| 流量分辨率 | 0.1L/min | 0.1~0.2L/min | 0.3L/min | 0.3~0.5L/min | 1~2L/min | 1~2L/min |
| 温度范围 | -20~84℃ | |||||
| 开关时间（全开到全关） | 1.5sec | 2sec | 2sec | 2.5sec | 2.5sec | 5sed |
SL260系列管路减压器
SC600系列先导式减压器
• 先导式减压器，通过外部压力源控制减压器的输出压力，输出压力稳定，流量大，可实现远程控制• 母体：316L• 阀座：PCTFE• 膜片：氯丁橡胶• 先导式减压结构（不含外部控制减压器）• 母体与膜片采用软密封形式• 母体进气接口：1"NPT(F）• 外部压力源接口：1/4"NPT(F)• 2"压力表
•实验室分析/在线分析 •校准系统 •集成设备配套•石油化学工业 •半导体行业 •氢能源 •生命科学
| 类型 | 先导式减压 | 膜片 | 氯丁橡胶 |
| 进气压力P1: | max.200bar | 进/出气连接 | 1"NPT(F) |
| 出气压力P2: | 2/4/10/20/50/100bar | 温度范围 | -30℃ to +74℃ |
材质 |
泄漏率（外部）： | 2x10-8mbar L/s He | |
| 减压器母体，安全阀 | 详见订购参数 | （内部）： | 1x10-6mbar L/s He |
| 阀座： | PCTFE | 流量参数 | Cv=2.67 |
| 过滤网 | SS316L | 重量 | 约3.9kg |
产品特点
产品应用
技术参数
订购信息：
SC600 |
S | 01 | 09 | 01 | 01 | 16N | 16N |
| 系列号 | 母体材质 | 输入压力 | 输出压力 | 进气压力表 | 出气压力表 | 进气形式 | 出气形式 |
| SC600 | S:316L |
01:35bar
03:200bar
|
07:2bar08:4bar09:10bar10:20bar11:50bar12:100bar | 00:无压力表 01：bar/psi 02:MPa | 00:无压力表 01：bar/psi 02:MPa |
00:1/4"NPT(F)
02:1/8"卡套
04:1/4"卡套
06:3/8"卡套
08:1/2"卡套
16N:1"NPT(F)
|
00:1/4"NPT(F)
02:1/8"卡套
04:1/4"卡套
06:3/8"卡套
08:1/2"卡套
16N:1"NPT(F)
|
选项：空白：不带控制减压器 SL210:带控制减压器 SL260:带控制减压器 DR:电气比例阀
• 管路、面板安装用活塞式减压器• 黄铜镀铬材质，适用于非腐蚀性气体• 不锈钢316L材质，适用于腐蚀性和微有毒气体• 输出压力稳定• 手轮调节，精确控制压力• 一体化阀芯的结构设计，内置316L过滤网• 适用于氧气• 组件100%超声波清洗• 氦气检漏
•实验室分析/在线分析 •校准系统 •集成设备配套•石油化学工业 •半导体行业 •取样系统 •生命科学
| 类型 | 单级式减压 | 活塞 | SS316L |
| 进气压力P1: | max.300bar | 进/出气连接 | 1/4"NPT（F） |
| 出气压力P2: | 40/60/100/200bar | 温度范围 | -30℃ to +74℃ |
材质 |
泄漏率（外部）： | 1x10-8mbar L/s He | |
| 减压器母体，安全阀 | 详见订购参数 | （内部）： | 1x10-6mbar L/s He |
| 阀座： | PCTFE | 流量参数 | Cv=0.15 |
| 过滤网 | SS316L | 重量 | 约1.13kg |
产品特点
产品应用
技术参数
订购信息：
SL260 |
S | 04 | 11 | 01 | 00 | 00 |
| 系列号 | 母体材质 | 输入压力 | 输出压力 | 压力表 | 进气形式 | 出气形式 |
| SL260 | B;黄铜C:铜镀铬S:316L | 03:200bar 04:300bar | 11:50bar 12:100bar 13:200bar |
00:无压力表
01：bar/psi
02:MPa
03:bar(电接点）
04：MPa(电接点）
|
00:1/4"NPT(F)
02:1/8"卡套
04:1/4"卡套
06:3/8"卡套
08:1/2"卡套
|
00:1/4"NPT(F)
02:1/8"卡套
04:1/4"卡套
06:3/8"卡套
08:1/2"卡套
|
选项：R:泄压阀 N;针阀 D:膜片阀 F:流量计 G:氦检漏 N2:氮气 Ar；氩气 He:氦气 H2:氢气
EP100系列气体质量流量控制器
EP101系列气体质量流量控制器
产品说明
• EP100产品是一款高精度、高可靠的经济型气体质量流量控制器产品。该产品采用最新一代的工业级气体流量检测芯片、高端电磁比例阀、316L不锈钢气路底座，结合高速数字处理电路以及温度补偿算法，可实现最小0.2sccm、最大50SLM流量范围内的气体流量快速控制。该产品可以用于配气仪、分析仪、真空镀膜、焊接等应用场景。
产品应用
• 热处理• 晶体炉• 真空镀膜• 等离子清洗机• 科学实验
• 环保
产品特点
• 抗电磁干扰
• 抗污染，抗粉尘
• 高精度、小体积
• 响应速度快
• 低温漂、低漏率
• 性价比高
订购信息
| 基本参数 | |
| 精度 | ±0.8%F.S. 或±1%S.P. 取大者 |
| 量程比 | 1：100 |
| 响应时间 | ≤1sec |
| 重复精度 | ≤±0.2% F.S. |
| 漏率 | 1x10-9 Pa.m³/s He |
| 最大耐压 | 1MPa |
| 工作电压 | 24VDC |
| 接口类型 | D-SUB9 |
| EP100 | 01 | C100 | D4 | TM8 |
| 系列号 | 气体 | 量程 | 通讯方式 | 进出气形式 |
| EP100 | 01:氮气 06：甲烷02：空气 07：氢气03：氧气 08：氦气04：二氧化碳 05：氩气 | 10sccm:C010 1slm:L00120sccm:C020 5slm:L00550sccm:C050 10sllm:L010100sccm:C100 20slm:L020200sccm:C200 50slm:L050500sccm:C500 | RS485:D4RS232:D20-5v:A5 | 1/4"卡套：TG41/4"VCR: VC46mm快插：KC66mm卡套：TM6 |
产品说明
• EP101产品是一款高精度、高可靠的经济型气体质量流量控制器产品。该产品采用精密毛细管、高端电磁比例阀、316L不锈钢气路底座，结合高速数字处理电路以及温度补偿算法，可实现最小0.2sccm、最大50SLM流量范围内的气体流量快速控制。该产品可以用于光伏、分析仪、真空镀膜、焊接等应用场景。
产品应用
• 热处理• 晶体炉• 真空镀膜• 等离子清洗机• 科学实验
• 光伏生产
产品特点
• 抗电磁干扰
• 抗污染，抗粉尘
• 高精度、小体积
• 响应速度快
• 低温漂、低漏率
• 性价比高
订购信息
| 基本参数 | |
| 精度 | ±0.3%F.S. （＜30% F.S.); ±1%S.P. (＞30%F.S.) |
| 量程比 | 1：50 |
| 响应时间 | ≤1sec |
| 重复精度 | ≤±0.2% F.S. |
| 漏率 | 1x10-10 Pa.m³/s He |
| 最大耐压 | 1MPa |
| 工作电压 | 24VDC |
| 接口类型 | D-SUB9 |
| EP101 | 01 | C100 | D4 | TM8 |
| 系列号 | 气体 | 量程 | 通讯方式 | 进出气形式 |
| EP101 | 01:氮气 06：甲烷02：空气 07：氢气03：氧气 08：氦气04：二氧化碳 10：硅烷05：氩气 11：氨气12：一氧化二氮 13：三氯化硼 | 10sccm:C010 1slm:L00120sccm:C020 5slm:L00550sccm:C050 10sllm:L010100sccm:C100 20slm:L020200sccm:C200 50slm:L050500sccm:C500 | RS485:D4EtherCAT:EC |
1/4"卡套：TG4 1/4"VCR: VC4 |
EP200系列气体质量流量控制器
FLOW-IGS表面集成系统
产品说明
• EP200系列产品是一款高精度、高可靠的经济型气体质量流量控制器产品。该产品采用最新一代的工业级气体流量检测芯片、高精度步进比例阀、316L不锈钢气路底座，结合高速数字处理电路以及温度补偿算法，可实现最小200slm、最大3000SLM流量范围内的气体流量快速控制。该产品可以用于配气仪、真空镀膜、粉末冶金，烧结炉，焊接等应用场景。
产品应用
• 热处理• 晶体炉
• 粉末冶金• 真空镀膜• 等离子清洗机• 科学实验
• 环保
产品特点
• 抗电磁干扰
• 抗污染，抗粉尘
• 高精度
• 响应速度快
• 低温漂、低漏率
• 性价比高
订购信息
| 基本参数 | |
| 精度 | ±1%F.S. |
| 量程比 | 1：50 |
| 响应时间 | ≤5sec |
| 重复精度 | ≤±0.2% F.S. |
| 漏率 | 1x10-9 Pa.m³/s He |
| 最大耐压 | 3MPa |
| 工作电压 | 24VDC |
| 接口类型 | D-SUB9 |
| EP200 | 01 | L200 | D4 | TG8 |
| 系列号 | 气体 | 量程 | 通讯方式 | 进出气形式 |
| EP200 | 01:氮气 06：甲烷02：空气 07：氢气03：氧气 08：氦气04：二氧化碳 05：氩气 |
200slm:L200 500slm:L5001500slm:L15002000slm:L2000 3000slm:L3000 |
RS485:D4 | 1/2"卡套：TG81/2"VCR: VC8 |
产品说明
• FLOW-IGS系列专为寻求最佳空间效能工艺气体面板化的客户而研发。可根据客户的需求在紧凑、轻型但坚固耐用的安装轨道系统上安装一个或多个质量流量计/控制器或压力传感器模块与控制阀、切断阀、混合室、过滤器或任何其他功能模块的组合。FLOW-IGS系统的模块概念为终端用户在修改维护方面提供了极大的灵活性。功能模块安装在上部，因而可以轻易更换，无需拆卸总装。
产品应用
• 真空、等离子、喷洒和涂层工艺• 催化剂研发测试平台
• 半导体和太阳能电池制造• 燃烧器控制（焊接）• 生物技术和化学装置• 食品和饮料加工
产品特点
• 紧凑的装配确保有效利用空间，死区最小化
• 经济实惠的解决方案，降低成本
• 内嵌一体式流道减少潜在的泄漏点
• 保养方便，可轻松从顶部安装
• 系统扩展或修改的灵活性极大
• 经过预测试的“即插即用”设备单元，减少 定制的测试要求
质量流量计和控制器
电磁及拨动截止阀
气动隔膜阀
接头和堵头
研创测控技术（福州）有限公司
地址：中国.福建.福州
电话：18650314939
E-mail:info@smilegaz.com
网址：https://www.smilegaz.com
增值电信业务经营许可证：陕B2-20210327 | 
陕公网安备 61102302611033号