书刊名称：碳化硅辅助增效化学机械抛光材料去除机理研究进展
发布作者：《表面技术》
发布时间：2026-02-03
阅读次数：69
书刊简介：徐腾飞，刘伟*，邓朝晖，陈根，朱德财湖南科技大学，华侨大学
其他信息：《碳化硅辅助增效化学机械抛光材料去除机理研究进展》电子宣传画册作品由《表面技术》于2026-02-03制作并发布于FLBOOK电子杂志制作平台。FLBOOK是一款HTML5电子杂志、电子书刊、电子画册制作平台，使用FLBOOK可以快速制作和发布电子书刊作品。
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